一种高温压电传感器中石墨烯电极的制备方法
摘要:
本发明提供了一种高温压电传感器中石墨烯电极的制备方法,包括以下步骤:将预处理过的高温压电传感器的高温压电晶片放入等离子体化学气相沉积腔室中,关闭腔室,启动真空泵;至腔室中的气压降至10‑5Torr以下,通入保护气和碳氢化合物气体调节腔室中的压强;启动真空反应炉加热升温,打开等离子体源,恒温沉积,得到石墨烯电极。本发明提供的石墨烯电极的制备方法采用高温压电晶片作为衬底,通过等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术直接在无金属催化的晶片表面生长少层或多层的石墨烯作为电极,石墨烯薄膜与晶片之间附着力好,石墨烯膜的导电性能优异。
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