发明授权
CN106191806B 一种高温压电传感器中石墨烯电极的制备方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种高温压电传感器中石墨烯电极的制备方法
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申请号: CN201610557529.2申请日: 2016-07-14
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公开(公告)号: CN106191806B公开(公告)日: 2018-11-23
- 发明人: 沈丽明 , 郭国标 , 吉成 , 何大方 , 暴宁钟
- 申请人: 江南石墨烯研究院
- 申请人地址: 江苏省常州市武进经济开发区腾龙路2号
- 专利权人: 江南石墨烯研究院
- 当前专利权人: 江南石墨烯研究院
- 当前专利权人地址: 江苏省常州市武进经济开发区腾龙路2号
- 代理机构: 南京中律知识产权代理事务所
- 代理商 沈振涛
- 主分类号: C23C16/26
- IPC分类号: C23C16/26 ; C23C16/513 ; C23C16/02
摘要:
本发明提供了一种高温压电传感器中石墨烯电极的制备方法,包括以下步骤:将预处理过的高温压电传感器的高温压电晶片放入等离子体化学气相沉积腔室中,关闭腔室,启动真空泵;至腔室中的气压降至10‑5Torr以下,通入保护气和碳氢化合物气体调节腔室中的压强;启动真空反应炉加热升温,打开等离子体源,恒温沉积,得到石墨烯电极。本发明提供的石墨烯电极的制备方法采用高温压电晶片作为衬底,通过等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术直接在无金属催化的晶片表面生长少层或多层的石墨烯作为电极,石墨烯薄膜与晶片之间附着力好,石墨烯膜的导电性能优异。
公开/授权文献
- CN106191806A 一种高温压电传感器中石墨烯电极的制备方法 公开/授权日:2016-12-07