相邻面双分立电极分布式的微陀螺仪及其制备方法
摘要:
本发明提出一种相邻面双分立电极分布式的微陀螺仪及其制备方法,包括:单晶硅基底、中心固定支撑柱、微型谐振子、侧面电极、相邻电极、玻璃基底。侧面电极为多个,均匀分布在微型谐振子的一侧面,构成均匀分布式侧面电极;相邻电极为多个,均匀分布在微型谐振子的一相邻面,如此构成均匀分布式相邻电极;本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作;提供不同的驱动、检测方式及不同的工作模式,可工作在需要复杂控制的系统中;利用相邻电极和侧面电极分别进行驱动和检测,减小驱动电极和检测电极之间的寄生电容,提高检测精度。
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