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公开(公告)号：CN108871302B
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN201810651368.2
申请日：2018-06-22
申请人： 上海交通大学 , 上海航天控制技术研究所
IPC分类号： G01C19/56
摘要： 本发明提供了一种电极谐振微陀螺，包括基体(1)、谐振体(2)；所述谐振体(2)设置在基体(1)上；所述基体(1)具有容纳腔(4)；所述谐振体(2)设置在容纳腔(4)内。所述谐振体(2)底部延伸出固定部(3)；所述容纳腔(4)设置有固定部容纳槽；所述固定部(3)与固定部容纳槽相匹配；所述固定部(3)固定在固定部容纳槽内。本发明提供的加工工艺为平面微细加工工艺，加工方便，利于批量生产；通过腐蚀二氧化硅牺牲层形成底部支撑柱，可以精准的控制支撑柱的大小，并实现结构的自对称。
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公开(公告)号：CN106168483B
公开(公告)日：2020-11-06
申请号：CN201610635008.4
申请日：2016-08-04
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01C19/5684
摘要： 本发明提出了一种上环形下分立的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法，包括：单晶硅基底、中心固定支撑柱、微型谐振子、上电极、下电极、玻璃基底。本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作；本发明可提供不同的驱动、检测方式及不同的工作模式，可工作在需要复杂控制的系统中；本发明可利用下电极和上电极分别进行驱动和检测，减小驱动电极和检测电极之间的寄生电容，提高检测精度。
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公开(公告)号：CN106017450B
公开(公告)日：2020-06-12
申请号：CN201610566243.0
申请日：2016-07-18
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01C19/5649
摘要： 本发明提供一种压电半球谐振微陀螺仪的数字信号处理系统，其中：压电半球谐振微陀螺仪模块在给定反馈信号下被激振或被驱动并产生检测信号和监测信号；数字检波模块对压电半球谐振微陀螺仪模块输出监测信号的幅值进行检测；数字锁相模块对压电半球谐振微陀螺仪模块输出监测信号的频率进行检测；数字AGC模块根据数字检波模块提供的幅值信息对输入压电半球谐振微陀螺仪模块信号的幅值进行调整；数字调相模块对压电半球谐振微陀螺仪模块输出监测信号的相位进行调整；乘法器，确定力平衡反馈模块所需要反馈信号的幅值；力平衡反馈模块向压电半球谐振微陀螺仪模块输出反馈信号。本发明实现了对压电半球谐振微陀螺仪的稳幅稳频控制和数字检测。
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公开(公告)号：CN106248068B
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201610635034.7
申请日：2016-08-04
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01C19/5691
摘要： 本发明提出一种相邻面双分立电极分布式的微陀螺仪及其制备方法，包括：单晶硅基底、中心固定支撑柱、微型谐振子、侧面电极、相邻电极、玻璃基底。侧面电极为多个，均匀分布在微型谐振子的一侧面，构成均匀分布式侧面电极；相邻电极为多个，均匀分布在微型谐振子的一相邻面，如此构成均匀分布式相邻电极；本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作；提供不同的驱动、检测方式及不同的工作模式，可工作在需要复杂控制的系统中；利用相邻电极和侧面电极分别进行驱动和检测，减小驱动电极和检测电极之间的寄生电容，提高检测精度。
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公开(公告)号：CN106370172A
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201610778334.0
申请日：2016-08-30
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01C19/5698
摘要： 本发明提供一种基于数字化嵌入式系统的微陀螺驱动与检测装置及方法，所述装置包括：嵌入式数字单元、模拟电路单元以及无线模块；所述嵌入式数字单元与所述模拟电路单元连接，所述模拟电路单元与体声波固体波动微陀螺连接，所述无线模块集成于所述嵌入式数字单元上；驱动信号经所述嵌入式数字单元到所述模拟电路单元，再到体声波固体波动微陀螺，体声波固体波动微陀螺信号输出到所述模拟电路单元，经所述模拟电路单元前置处理后输入到所述嵌入式数字单元进行信号处理，所述无线模块负责所述装置与外界之间的控制命令以及最终信号的输出。本发明可以有效检测并输出陀螺信号，精度高，稳定性好。
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公开(公告)号：CN106323261A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201610635055.9
申请日：2016-08-04
申请人： 上海交通大学 , 上海航天控制技术研究所
IPC分类号： G01C19/5691
摘要： 本发明提出了一种上分立下环形的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法，包括：单晶硅基底、中心固定支撑柱、微型谐振子、上电极、下电极、玻璃基底。所述上电极为多个，分布均匀在微型谐振子的上侧，构成均匀分布式上电极，所述下电极为一个，设置在微型谐振子的下侧且该下电极呈环形一体式，构成一环形一体式下电极；本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作；本发明可提供不同的驱动、检测方式及不同的工作模式，可工作在需要复杂控制的系统中；本发明可利用下电极和上电极分别进行驱动和检测，减小驱动电极和检测电极之间的寄生电容，提高检测精度。
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公开(公告)号：CN106289213A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610693599.0
申请日：2016-08-18
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01C19/5684
摘要： 本发明提供一种分立与环形双电极分布式全角度控制系统，所述系统包括：谐振陀螺、分立电极、环形电极、前置级模块、角度输出模块、振幅控制模块、频率控制模块和正交控制模块；本发明实现谐振陀螺驱动信号的实时锁频以及智能调幅、调相功能；统能够为谐振陀螺工作在全角度时，提供稳幅且跟踪陀螺谐振频率的驱动信号，保证陀螺时刻都处于谐振状态，减小因谐振频率漂移或振动幅值波动带来的误差，系统稳定性好。本发明通过对谐振陀螺信号的有效控制，从而实现对谐振陀螺的全角度控制。
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公开(公告)号：CN105671546A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201610102930.7
申请日：2016-02-25
申请人： 上海交通大学
CPC分类号： C23C24/10 , C30B11/003
摘要： 本发明提出一种激光修复单晶涡轮叶片的主动冷却装置和冷却方法，该装置包括：空气压缩机，换热器和环形冷却装置，其中所述空气压缩机将待冷却气体压缩为高速高压气流，并将其接入到所述换热器中，所述换热器将接入气流冷却后接入环形冷却装置，所述环形冷却装置设置于激光熔覆系统的工作台上方并环绕工件设置。本发明提出的修复单晶涡轮叶片的主动冷却装置和冷却方法，通过调节冷却气流的大小、温度以及冷却喷嘴的位置和角度，使激光修复过程中达到最好的主动冷却效果。
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公开(公告)号：CN106370172B
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201610778334.0
申请日：2016-08-30
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01C19/5698
摘要： 本发明提供一种基于数字化嵌入式系统的微陀螺驱动与检测装置及方法，所述装置包括：嵌入式数字单元、模拟电路单元以及无线模块；所述嵌入式数字单元与所述模拟电路单元连接，所述模拟电路单元与体声波固体波动微陀螺连接，所述无线模块集成于所述嵌入式数字单元上；驱动信号经所述嵌入式数字单元到所述模拟电路单元，再到体声波固体波动微陀螺，体声波固体波动微陀螺信号输出到所述模拟电路单元，经所述模拟电路单元前置处理后输入到所述嵌入式数字单元进行信号处理，所述无线模块负责所述装置与外界之间的控制命令以及最终信号的输出。本发明可以有效检测并输出陀螺信号，精度高，稳定性好。
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公开(公告)号：CN105671546B
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201610102930.7
申请日：2016-02-25
申请人： 上海交通大学
摘要： 本发明提出一种激光修复单晶涡轮叶片的主动冷却装置和冷却方法，该装置包括：空气压缩机，换热器和环形冷却装置，其中所述空气压缩机将待冷却气体压缩为高速高压气流，并将其接入到所述换热器中，所述换热器将接入气流冷却后接入环形冷却装置，所述环形冷却装置设置于激光熔覆系统的工作台上方并环绕工件设置。本发明提出的修复单晶涡轮叶片的主动冷却装置和冷却方法，通过调节冷却气流的大小、温度以及冷却喷嘴的位置和角度，使激光修复过程中达到最好的主动冷却效果。
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