- 专利标题: 相邻面双分立电极分布式的微陀螺仪及其制备方法
- 专利标题(英): Adjacent-face-double-discrete-electrode distributed micro gyroscope and preparing method thereof
-
申请号: CN201610635034.7申请日: 2016-08-04
-
公开(公告)号: CN106248068A公开(公告)日: 2016-12-21
- 发明人: 张卫平 , 欧彬 , 刘朝阳 , 唐健 , 孙殿竣 , 邢亚亮 , 魏志方 , 崔峰 , 赵万良 , 成宇翔 , 刘瑞鑫
- 申请人: 上海交通大学
- 申请人地址: 上海市闵行区东川路800号
- 专利权人: 上海交通大学
- 当前专利权人: 上海交通大学
- 当前专利权人地址: 上海市闵行区东川路800号
- 代理机构: 上海汉声知识产权代理有限公司
- 代理商 徐红银; 郭国中
- 主分类号: G01C19/5691
- IPC分类号: G01C19/5691
摘要:
本发明提出一种相邻面双分立电极分布式的微陀螺仪及其制备方法,包括:单晶硅基底、中心固定支撑柱、微型谐振子、侧面电极、相邻电极、玻璃基底。侧面电极为多个,均匀分布在微型谐振子的一侧面,构成均匀分布式侧面电极;相邻电极为多个,均匀分布在微型谐振子的一相邻面,如此构成均匀分布式相邻电极;本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作;提供不同的驱动、检测方式及不同的工作模式,可工作在需要复杂控制的系统中;利用相邻电极和侧面电极分别进行驱动和检测,减小驱动电极和检测电极之间的寄生电容,提高检测精度。
公开/授权文献
- CN106248068B 相邻面双分立电极分布式的微陀螺仪及其制备方法 公开/授权日:2020-05-08