发明公开
CN106290158A 怀特池的调节装置及方法
审中-实审
- 专利标题: 怀特池的调节装置及方法
- 专利标题(英): White cell adjusting device and method
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申请号: CN201610646667.8申请日: 2016-08-09
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公开(公告)号: CN106290158A公开(公告)日: 2017-01-04
- 发明人: 陶俊 , 李娜 , 向少卿 , 孙文婷 , 李一帆
- 申请人: 上海禾赛光电科技有限公司
- 申请人地址: 上海市嘉定区叶城路925号A4栋206室
- 专利权人: 上海禾赛光电科技有限公司
- 当前专利权人: 上海禾赛光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市嘉定区叶城路925号A4栋206室
- 主分类号: G01N21/03
- IPC分类号: G01N21/03 ; G01N21/31
摘要:
本发明提供了一种怀特池的调节装置及方法,调节装置包括:二维调节架;马达设置在二维调节架上,根据计算模块传送来的调整量去二维调节怀特池内与曲率半径较大的反射镜相对的二个曲率半径较小的反射镜中的至少一个;面阵探测器设置在怀特池的出射光光路上,得出出射光光斑在面阵探测器上的位置;存储器存储马达的调整量与面阵探测器上光斑移动距离之间的映射关系;计算模块根据所述位置、设定位置得出偏差,并根据所述映射关系得出与偏差对应的马达的调整量,该调整量送所述马达。本发明具有精度高、结构简单、低成本等优点。
公开/授权文献
- CN106290158B 怀特池的调节装置及方法 公开/授权日:2023-09-05