一种直线进给系统的导轨直线度测量装置及方法
摘要:
本发明一种直线进给系统的导轨直线度测量装置及方法,所述测量装置中直线进给系统的导轨基准坐标系为以竖直方向为Z轴,滑块的移动方向为Y轴,水平垂直远离导轨的方向为X轴;其包括分别固定在滑块上的第一测量夹具和第二测量夹具;固定在第一测量夹具上的激光准直仪,分别对称设置在第二测量夹具X向上的二、三号位移传感器,以及设置在第二测量夹具Z向上的一号位移传感器;激光准直仪的光路与第一测量夹具Y向平行;一号位移传感器的中心线经过激光准直仪的中心点;三个位移传感器位于同一垂直于Y向的平面内;二、三号位移传感器分别用于测量导轨与滑块之间Y向的位移间隙;一号位移传感器和激光准直仪用于测量滑块和导轨之间Z向位移间隙。
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