Invention Publication
- Patent Title: 五段式InP基单片集成可调谐斜腔激光器芯片及其制作方法
- Patent Title (English): Five-segment type InP-base single-chip integrated tunable inclined cavity laser chip and manufacturing method thereof
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Application No.: CN201610876145.7Application Date: 2016-10-08
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Publication No.: CN106340810APublication Date: 2017-01-18
- Inventor: 韩宇
- Applicant: 武汉华工正源光子技术有限公司
- Applicant Address: 湖北省武汉市东湖高新技术开发区华中科技大学科技园正源光子产业园
- Assignee: 武汉华工正源光子技术有限公司
- Current Assignee: 武汉华工正源光子技术有限公司
- Current Assignee Address: 湖北省武汉市东湖高新技术开发区华中科技大学科技园正源光子产业园
- Agency: 北京汇泽知识产权代理有限公司
- Agent 程殿军; 张瑾
- Main IPC: H01S5/343
- IPC: H01S5/343 ; H01S5/223

Abstract:
本发明提供了一种五段式InP基单片集成可调谐斜腔激光器芯片及其制作方法,包括以下步骤:选择一磷化铟衬底;在磷化铟衬底上生长一次外延结构,包括缓冲层、四元下波导层、多量子阱层、四元上波导层、腐蚀停止层、光栅层;在一次外延结构上刻蚀光栅调谐区和相位匹配区并对接生长无源波导层;在无源波导层上用二氧化硅掩膜选区制作部分光栅并掩埋;在一次外延结构上刻蚀电吸收外调制区并对接生长电吸收外调制层的下波导层、多量子阱层与上波导层并掩埋;在芯片上制作倾斜脊波导并掩埋生长光限制层与电接触层;在电接触层上制作P面电极,在芯片背面制作N面电极;镀膜并解理成单个芯片,完成该激光器芯片的制作。
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