发明授权
- 专利标题: 光刻胶显影液
-
申请号: CN201610406739.1申请日: 2016-06-12
-
公开(公告)号: CN106406037B公开(公告)日: 2020-03-31
- 发明人: 郑玄铁 , 李相大 , 丁镇培
- 申请人: 易安爱富科技有限公司
- 申请人地址: 韩国首尔市江南区奉恩寺路151号
- 专利权人: 易安爱富科技有限公司
- 当前专利权人: 易安爱富科技有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国首尔市江南区奉恩寺路151号
- 代理机构: 深圳市顺天达专利商标代理有限公司
- 代理商 蔡晓红; 柯夏荷
- 优先权: 10-2015-0082901 2015.06.11 KR
- 主分类号: G03F7/32
- IPC分类号: G03F7/32
摘要:
本发明所提供的光刻胶显影液包含特定结构的非离子性表面活性剂及碱源,其在进行显影工程时,能够维持微细图案的显影性,并且减少因化合物残留所导致的残影及气泡的产生。
公开/授权文献
- CN106406037A 光刻胶显影液 公开/授权日:2017-02-15
IPC分类: