清洗液组合物
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106283097B

    公开(公告)日:2018-12-04

    申请号:CN201610448914.3

    申请日:2016-06-21

    发明人: 许濬 郑玄铁

    IPC分类号: C23G5/036 H01L21/02

    摘要: 本发明涉及清洗液组合物,具体地,提供一种能够清洗在金属的化学机械平坦化工程等中产生的金属氧化物与金属研磨粒子的清洗液组合物。根据本发明提供的清洗液组合物,由于能够增强对金属研磨粒子的络合力,并能够维持还原力,因此能够改善清洗液的稳定性,对金属表面进行高防腐蚀力的清洗工程。

    光刻胶显影液
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106406037A

    公开(公告)日:2017-02-15

    申请号:CN201610406739.1

    申请日:2016-06-12

    IPC分类号: G03F7/32

    摘要: 本发明所提供的光刻胶显影液包含特定结构的非离子性表面活性剂及碱源,其在进行显影工程时,能够维持微细图案的显影性,并且减少因化合物残留所导致的残影及气泡的产生。

    光刻胶显影液
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106406037B

    公开(公告)日:2020-03-31

    申请号:CN201610406739.1

    申请日:2016-06-12

    IPC分类号: G03F7/32

    摘要: 本发明所提供的光刻胶显影液包含特定结构的非离子性表面活性剂及碱源,其在进行显影工程时,能够维持微细图案的显影性,并且减少因化合物残留所导致的残影及气泡的产生。