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公开(公告)号:CN106283097A
公开(公告)日:2017-01-04
申请号:CN201610448914.3
申请日:2016-06-21
申请人: 易安爱富科技有限公司
CPC分类号: C11D11/0047 , C11D3/28 , C11D3/32 , C11D7/3209 , C11D7/3281 , H01L21/02074 , C23G5/036
摘要: 本发明涉及清洗液组合物,具体地,提供一种能够清洗在金属的化学机械平坦化工程等中产生的金属氧化物与金属研磨粒子的清洗液组合物。根据本发明提供的清洗液组合物,由于能够增强对金属研磨粒子的络合力,并能够维持还原力,因此能够改善清洗液的稳定性,对金属表面进行高防腐蚀力的清洗工程。
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公开(公告)号:CN106283097B
公开(公告)日:2018-12-04
申请号:CN201610448914.3
申请日:2016-06-21
申请人: 易安爱富科技有限公司
摘要: 本发明涉及清洗液组合物,具体地,提供一种能够清洗在金属的化学机械平坦化工程等中产生的金属氧化物与金属研磨粒子的清洗液组合物。根据本发明提供的清洗液组合物,由于能够增强对金属研磨粒子的络合力,并能够维持还原力,因此能够改善清洗液的稳定性,对金属表面进行高防腐蚀力的清洗工程。
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公开(公告)号:CN102388345A
公开(公告)日:2012-03-21
申请号:CN201080016013.8
申请日:2010-04-15
申请人: 易安爱富科技有限公司
IPC分类号: G03F7/26
CPC分类号: G03F7/3092 , B01D15/00
摘要: 本发明涉及一种显示装置制造过程中产生的废弃有机溶剂的处理方法。本发明的废弃有机溶剂的处理方法通过抑制负性光刻胶成分的交联聚合反应,使在废弃有机溶剂的纯化过程中,将由于热引起的交联结构的形成所引发的工序故障最小化,在降低设备运营成本的同时,还能够提高有机溶剂的回收率。
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公开(公告)号:CN106406037A
公开(公告)日:2017-02-15
申请号:CN201610406739.1
申请日:2016-06-12
申请人: 易安爱富科技有限公司
IPC分类号: G03F7/32
摘要: 本发明所提供的光刻胶显影液包含特定结构的非离子性表面活性剂及碱源,其在进行显影工程时,能够维持微细图案的显影性,并且减少因化合物残留所导致的残影及气泡的产生。
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公开(公告)号:CN103080067A
公开(公告)日:2013-05-01
申请号:CN201080068890.X
申请日:2010-09-08
申请人: 易安爱富科技有限公司
IPC分类号: C07C67/60 , C07C67/54 , C07C69/708 , C07B63/00
摘要: 本发明涉及一种废有机溶剂的提纯方法。在含有显示器的制造工艺等中生成的丙二醇甲醚醋酸酯的废有机溶剂中添加醇盐类化合物,得到的混合物发生反应,使得丙酸类及酮类等的杂质的沸点改变,能够以高回收率回收高纯度的提纯物。
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公开(公告)号:CN106406037B
公开(公告)日:2020-03-31
申请号:CN201610406739.1
申请日:2016-06-12
申请人: 易安爱富科技有限公司
IPC分类号: G03F7/32
摘要: 本发明所提供的光刻胶显影液包含特定结构的非离子性表面活性剂及碱源,其在进行显影工程时,能够维持微细图案的显影性,并且减少因化合物残留所导致的残影及气泡的产生。
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公开(公告)号:CN103080067B
公开(公告)日:2015-03-04
申请号:CN201080068890.X
申请日:2010-09-08
申请人: 易安爱富科技有限公司
IPC分类号: C07C67/60 , C07C67/54 , C07C69/708 , C07B63/00
摘要: 本发明涉及一种废有机溶剂的提纯方法。在含有显示器的制造工艺等中生成的丙二醇甲醚醋酸酯的废有机溶剂中添加醇盐类化合物,得到的混合物发生反应,使得丙酸类及酮类等的杂质的沸点改变,能够以高回收率回收高纯度的提纯物。
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公开(公告)号:CN102388345B
公开(公告)日:2013-10-09
申请号:CN201080016013.8
申请日:2010-04-15
申请人: 易安爱富科技有限公司
IPC分类号: G03F7/26
CPC分类号: G03F7/3092 , B01D15/00
摘要: 本发明涉及一种显示装置制造过程中产生的废弃有机溶剂的处理方法。本发明的废弃有机溶剂的处理方法通过抑制负性光刻胶成分的交联聚合反应,使在废弃有机溶剂的纯化过程中,将由于热引起的交联结构的形成所引发的工序故障最小化,在降低设备运营成本的同时,还能够提高有机溶剂的回收率。
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