本发明揭示了本发明提出了一种微细电解加工工具电极制备方法及装置，方法包括：将工具电极放入光敏树脂溶液中浸泡一定时间；将所述工具电极取出，并将所述工具电极表面上的光敏树脂液体薄层固化为绝缘膜；将所述工具电极的工作面一端部分浸入溶解溶液中，浸入的深度为h1，溶解所述工具电极上的绝缘膜；将所述工具电极接阳极，对所述工具电极的工作面进行熔蚀，熔蚀高度为h2，h2>h1。本发明的有益效果是：不但适合于简单形状的工具电极表面的绝缘膜的制备，也适合于复杂三维的工具电极表面的绝缘膜的制备。