发明授权
- 专利标题: 压力传感器及其封装方法
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申请号: CN201611047735.5申请日: 2016-11-23
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公开(公告)号: CN106477512B公开(公告)日: 2018-07-31
- 发明人: 胡维 , 吕萍 , 李刚
- 申请人: 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号NW-09楼102室
- 专利权人: 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
- 当前专利权人: 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号NW-09楼102室
- 代理机构: 苏州威世朋知识产权代理事务所
- 代理商 杨林洁
- 主分类号: B81B7/02
- IPC分类号: B81B7/02 ; B81C1/00 ; H01L23/31
摘要:
本发明提供了种压力传感器及其封装方法,所述压力传感器包括层叠设置的基板与压力传感器芯片,所述压力传感器芯片包括衬底、形成于所述衬底背离基板侧的腔体以及与所述腔体配合设置的敏感膜,所述腔体呈扁平状,所述衬底上设有的第焊盘;所述基板设有电连接至第焊盘的第二焊盘;所述压力传感器还包括沿所述敏感膜的外周设置的第围坝、设置于基板上且不超出所述第围坝的硬质密封层、以及位于所述敏感膜上方并与所述第围坝相抵接的承压部件,其中,第焊盘位于第围坝的外侧。采用本发明压力传感器及其封装方法,避免敏感膜直接承受外界应力,降低破损几率,同时通过硬质密封层实现更好的防护,延长使用寿命。
公开/授权文献
- CN106477512A 压力传感器及其封装方法 公开/授权日:2017-03-08