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存储器元件及其制造方法
Abstract:
本发明公开一种存储器元件及其制造方法。存储器元件,包括第一栅极、第二栅极以及栅间介电层。第一栅极埋入衬底中。第二栅极配置于衬底上,且第二栅极的材料包括金属。栅间介电层配置于第一栅极与第二栅极之间。另提供一种存储器元件的制造方法。
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