Invention Publication
CN106486529A 存储器元件及其制造方法
无效 - 驳回
- Patent Title: 存储器元件及其制造方法
- Patent Title (English): Memory component and fabrication method thereof
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Application No.: CN201510521058.5Application Date: 2015-08-24
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Publication No.: CN106486529APublication Date: 2017-03-08
- Inventor: 游焜煌 , 萧世楹
- Applicant: 联华电子股份有限公司
- Applicant Address: 中国台湾新竹市新竹科学工业园区
- Assignee: 联华电子股份有限公司
- Current Assignee: 联华电子股份有限公司
- Current Assignee Address: 中国台湾新竹市新竹科学工业园区
- Agency: 北京市柳沈律师事务所
- Agent 陈小雯
- Main IPC: H01L29/423
- IPC: H01L29/423 ; H01L21/28

Abstract:
本发明公开一种存储器元件及其制造方法。存储器元件,包括第一栅极、第二栅极以及栅间介电层。第一栅极埋入衬底中。第二栅极配置于衬底上,且第二栅极的材料包括金属。栅间介电层配置于第一栅极与第二栅极之间。另提供一种存储器元件的制造方法。
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