- 专利标题: 横向扩散金属氧化物半导体晶体管及其制作方法
- 专利标题(英): Laterally diffused metal-oxide-semiconductor transistor and manufacturing method thereof
-
申请号: CN201510593413.X申请日: 2015-09-17
-
公开(公告)号: CN106549052A公开(公告)日: 2017-03-29
- 发明人: 萧世楹 , 洪佳民
- 申请人: 联华电子股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹市新竹科学工业园区
- 专利权人: 联华电子股份有限公司
- 当前专利权人: 联华电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹市新竹科学工业园区
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 陈小雯
- 主分类号: H01L29/78
- IPC分类号: H01L29/78 ; H01L29/06 ; H01L29/41 ; H01L21/336
摘要:
本发明公开一种横向扩散金属氧化物半导体(LDMOS)晶体管及其制作方法。LDMOS晶体管包括一半导体基底、一绝缘结构、一栅极结构以及多个浮接电极。绝缘结构设置于半导体基底中。栅极结构设置于半导体基底上。浮接电极嵌入绝缘结构中,其中最接近栅极结构的浮接电极从绝缘结构的一上表面突出或栅极结构包括至少一分支部嵌入绝缘结构中,且浮接电极与栅极结构分离。
公开/授权文献
- CN106549052B 横向扩散金属氧化物半导体晶体管及其制作方法 公开/授权日:2021-05-25
IPC分类: