发明授权
CN106586941B 微机电装置及其制造方法与防止信号衰减的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 微机电装置及其制造方法与防止信号衰减的方法
-
申请号： CN201610399509.7申请日： 2016-06-07
-
公开(公告)号： CN106586941B公开(公告)日： 2019-02-05
- 发明人: 赖義泽 , 陈荣祥 , 陈政赐 , 翁淑怡
- 申请人： 硕英股份有限公司
- 申请人地址： 中国台湾台北市大同区酒泉街34之1号6楼
- 专利权人： 硕英股份有限公司
- 当前专利权人： 硕英股份有限公司
- 当前专利权人地址： 中国台湾台北市大同区酒泉街34之1号6楼
- 代理机构： 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- 代理商 梁挥; 田景宜
- 优先权： 14/885,656 2015.10.16 US
- 主分类号： B81B3/00
- IPC分类号： B81B3/00 ; B81C1/00
摘要：
本发明公开了一种具有防止信号衰减功能的微机电装置以及其制造方法和防止信号衰减的方法。微机电装置包含一基板、一绝缘层和一感测单元。绝缘层设置于基板上，而感测单元设置于绝缘层的上方。基板具有一掺杂区，且在掺杂区中主体的导电载子的极性与当感测单元感测到一外力时所产生的一电信号的极性相同。
公开/授权文献
- CN106586941A 微机电装置及其制造方法与防止信号衰减的方法 公开/授权日：2017-04-26
