公开(公告)号：CN106586941B

公开(公告)日：2019-02-05

申请号：CN201610399509.7

申请日：2016-06-07

申请人： 硕英股份有限公司

发明人： 赖義泽 ,  陈荣祥 ,  陈政赐 ,  翁淑怡

IPC分类号： B81B3/00 ,  B81C1/00

摘要： 本发明公开了一种具有防止信号衰减功能的微机电装置以及其制造方法和防止信号衰减的方法。微机电装置包含一基板、一绝缘层和一感测单元。绝缘层设置于基板上，而感测单元设置于绝缘层的上方。基板具有一掺杂区，且在掺杂区中主体的导电载子的极性与当感测单元感测到一外力时所产生的一电信号的极性相同。

公开(公告)号：CN106586941A

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201610399509.7

申请日：2016-06-07

申请人： 硕英股份有限公司

发明人： 赖義泽 ,  陈荣祥 ,  陈政赐 ,  翁淑怡

IPC分类号： B81B3/00 ,  B81C1/00

CPC分类号： B81B3/0086 ,  B81C1/00698

摘要： 本发明公开了一种具有防止信号衰减功能的微机电装置以及其制造方法和防止信号衰减的方法。微机电装置包含一基板、一绝缘层和一感测单元。绝缘层设置于基板上，而感测单元设置于绝缘层的上方。基板具有一掺杂区，且在掺杂区中主体的导电载子的极性与当感测单元感测到一外力时所产生的一电信号的极性相同。