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公开(公告)号：CN105445496B
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201510357483.5
申请日：2015-06-25
申请人： 硕英股份有限公司
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/18
摘要： 一种三轴加速度计，可同时量测X/Y/Z三方向加速度，包括一基板，一个悬浮于该基板的质量块，一组Y方向位移侦测电极，一组Z方向位移侦测电极，以及一组X方向位移侦测电极，该Y方向位移侦测电极、该Z方向位移侦测电极与该X方向位移侦测电极设于该基板上，且与该质量块相邻；其中，该质量块与各方向位移侦测电极分别包括多数金属层与介于任意两金属层间的介电层；该质量块中，对应于各该方向位移侦测电极的部分，分别有至少两金属层以通孔连接。各该方向位移侦测电极均包括至少两组电极，各组包括至少两层以通孔连接的金属层。该Y方向位移侦测电极与该Z方向位移侦测电极提供一结构体的第一部分，而该X方向位移侦测电极提供该结构体的第二部分。
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公开(公告)号：CN106586941A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201610399509.7
申请日：2016-06-07
申请人： 硕英股份有限公司
CPC分类号： B81B3/0086 , B81C1/00698
摘要： 本发明公开了一种具有防止信号衰减功能的微机电装置以及其制造方法和防止信号衰减的方法。微机电装置包含一基板、一绝缘层和一感测单元。绝缘层设置于基板上，而感测单元设置于绝缘层的上方。基板具有一掺杂区，且在掺杂区中主体的导电载子的极性与当感测单元感测到一外力时所产生的一电信号的极性相同。
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公开(公告)号：CN106199463A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201510295469.7
申请日：2015-06-02
申请人： 硕英股份有限公司
IPC分类号： G01R33/02 , G01P15/125
CPC分类号： G01P15/097 , G01P15/125 , G01P2015/0814 , G01R33/0286
摘要： 本发明揭示一种磁力计与加速度计两用共振型磁力计，包括：侦测器结构体，具有质量块及位移侦测电极；电容电压转换器及放大器，用于将侦测电极侦测结果，转变成电压信号，作为该磁力计的输出信号；一振动驱动电路，将该输出信号以电流型态提供予该质量块，用于驱动该质量块产生振动；及一选择电路，用于选择使该磁力计提供磁场量测功能或加速度量测功能。该振动驱动电路可为比较器。该选择电路可以一滤波器取代，连接该转换器电路的输出，以供选择该输出信号的频段。
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公开(公告)号：CN103712601B
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201210377904.7
申请日：2012-10-08
申请人： 硕英股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种液体多层电容倾斜微传感器，包括：至少两对差动电极，每对差动电极位于相同平面；至少一个共同电极，该共同电极的一部分与各对差动电极位于同一平面；该差动电极与该共同电极位于一密闭空间中；以及封入该密闭空间的覆盖液体；其中，该差动电极的轮廓分别形成圆形的一部分。该传感器还可包括感测电路。本发明还公开了该传感器的制造方法。
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公开(公告)号：CN103712601A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201210377904.7
申请日：2012-10-08
申请人： 硕英股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种液体多层电容倾斜微传感器，包括：至少两对差动电极，每对差动电极位于相同平面；至少一个共同电极，该共同电极的一部分与各对差动电极位于同一平面；该差动电极与该共同电极位于一密闭空间中；以及封入该密闭空间的覆盖液体；其中，该差动电极的轮廓分别形成圆形的一部分。该传感器还可包括感测电路。本发明还公开了该传感器的制造方法。
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公开(公告)号：CN106199463B
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201510295469.7
申请日：2015-06-02
申请人： 硕英股份有限公司
IPC分类号： G01R33/02 , G01P15/125
摘要： 本发明揭示一种磁力计与加速度计两用共振型磁力计，包括：侦测器结构体，具有质量块及位移侦测电极；电容电压转换器及放大器，用于将侦测电极侦测结果，转变成电压信号，作为该磁力计的输出信号；一振动驱动电路，将该输出信号以电流型态提供予该质量块，用于驱动该质量块产生振动；及一选择电路，用于选择使该磁力计提供磁场量测功能或加速度量测功能。该振动驱动电路可为比较器。该选择电路可以一滤波器取代，连接该转换器电路的输出，以供选择该输出信号的频段。
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