具有介电常数设计的原位电荷捕获材料的高温静电夹盘

Invention Grant

CN106663652B 具有介电常数设计的原位电荷捕获材料的高温静电夹盘有权

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Patent Title: 具有介电常数设计的原位电荷捕获材料的高温静电夹盘
Application No.: CN201580044951.1

Application Date: 2015-07-07
Publication No.: CN106663652B

Publication Date: 2020-06-02
Inventor: P·K·库尔施拉希萨 , K·D·李 , 金柏涵 , Z·J·叶 , S·P·贝赫拉 , G·巴拉苏布拉马尼恩 , J·C·罗查-阿尔瓦雷斯 , J·J·陈
Applicant: 应用材料公司
Applicant Address: 美国加利福尼亚州
Assignee: 应用材料公司
Current Assignee: 应用材料公司
Current Assignee Address: 美国加利福尼亚州
Agency: 上海专利商标事务所有限公司
Agent 侯颖媖
Priority: 14/469,573 2014.08.26 US
International Application: PCT/US2015/039296 2015.07.07
International Announcement: WO2016/032628 EN 2016.03.03
Date entered country: 2017-02-21
Main IPC: H01L21/683
IPC: H01L21/683 ; H01L21/324

Abstract:

所公开的技术用于在处理腔室中提高击穿电压、同时在超过约300摄氏度的温度下大幅减少静电夹盘的电压泄漏的方法和设备。

Abstract(English):

Techniques are disclosed for methods and apparatuses for increasing the breakdown voltage while substantially reducing the voltage leakage of an electrostatic chuck at temperatures exceeding about 300 degrees Celsius in a processing chamber.

Public/Granted literature

CN106663652A 具有介电常数设计的原位电荷捕获材料的高温静电夹盘 Public/Granted day:2017-05-10

Information query

Chinese Patent Announcement Global Dossier Espacenet

IPC分类:

H	电学
H01	基本电气元件
H01L	半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类）
H01L21/00	专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67	.专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683	..用于支承或夹紧的（用于定位、定向或对准的入H01L21/68）