发明公开
CN106684136A 一种SOI横向绝缘栅双极晶体管
无效 - 驳回
- 专利标题: 一种SOI横向绝缘栅双极晶体管
- 专利标题(英): SOI (Silicon On Insulator) lateral insulated gate bipolar transistor
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申请号: CN201710110260.8申请日: 2017-02-27
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公开(公告)号: CN106684136A公开(公告)日: 2017-05-17
- 发明人: 乔明 , 詹珍雅 , 章文通 , 肖倩倩 , 何逸涛 , 王正康 , 余洋 , 张波
- 申请人: 电子科技大学 , 电子科技大学广东电子信息工程研究院
- 申请人地址: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号;
- 专利权人: 电子科技大学,电子科技大学广东电子信息工程研究院
- 当前专利权人: 电子科技大学,电子科技大学广东电子信息工程研究院
- 当前专利权人地址: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号;
- 代理机构: 成都点睛专利代理事务所
- 代理商 敖欢; 葛启函
- 主分类号: H01L29/739
- IPC分类号: H01L29/739 ; H01L29/06
摘要:
本发明提供一种SOI横向绝缘栅双极晶体管,其元胞结构包括:衬底、埋氧层、厚介质层、厚硅层N型漂移区、P阱区、P型重掺杂发射极区和N型重掺杂区、超薄顶层硅N型漂移区、N型buffer区、P型重掺杂集电极区、发射极接触电极、集电极接触电极、栅氧化层、多晶硅栅、P条、N条;本发明利用介质场增强理论增强埋层电场,从而提高SOI器件的纵向击穿电压;在靠近源端发射极区域采用厚硅层N型漂移区来降低器件比导通电阻,对于超薄顶层硅N型漂移区和厚硅层N型漂移区分别采用横向线性变掺杂,调整表面电场分布,使其在保持器件高的击穿电压的同时,极大地降低了比导通电阻。
IPC分类: