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发明公开
CN106716599A 利用注入的可流动膜性质调谐 无效 - 驳回

利用注入的可流动膜性质调谐
摘要：
将物种供应到在基板上的可流动层。通过将所述物种注入到所述可流动层来修改所述可流动层的性质。所述性质包含密度、应力、薄膜收缩率、蚀刻选择性或上述的任意组合。
摘要（英）：

Species are supplied to a flowable layer over a substrate. A property of the flowable layer is modified by implanting the species to the flowable layer. The property comprises a density, a stress, a film shrinkage, an etch selectivity, or any combination thereof.

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