发明公开
- 专利标题: 一种紫外雪崩光电二极管探测器及其探测方法
- 专利标题(英): Ultraviolet avalanche photodiode detector and detection method thereof
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申请号: CN201710128164.6申请日: 2017-03-06
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公开(公告)号: CN106784054A公开(公告)日: 2017-05-31
- 发明人: 袁俊 , 倪炜江 , 张敬伟 , 李明山 , 牛喜平 , 季莎 , 徐妙玲
- 申请人: 北京世纪金光半导体有限公司
- 申请人地址: 北京市大兴区经济技术开发区通惠干渠路17号院
- 专利权人: 北京世纪金光半导体有限公司
- 当前专利权人: 北京世纪金光半导体有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市大兴区经济技术开发区通惠干渠路17号院
- 代理机构: 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司
- 代理商 张宇锋
- 主分类号: H01L31/0224
- IPC分类号: H01L31/0224 ; H01L31/0312 ; H01L31/0352 ; H01L31/107 ; G01J1/42
摘要:
本发明公开了一种紫外雪崩光电二极管探测器,所述探测器的每个器件单元从上至下依次包括CE电极、SiO2层、P‑well或N‑well、衬底和背面电极;其中,所述P‑well或N‑well的上部中心设置有点状雪崩二极管,所述点状雪崩二极管与所述CE电极电连通;所述SiO2层的外围周向设置有接地GND。本申请采用宽禁带半导体材料来制作,雪崩区与光子收集区域分开,雪崩倍增结区较小,能制作出比较低雪崩电压的器件,雪崩区域电场均匀性可控性好;同时在雪崩倍增高场区域比较小的同时保证大面积的光探测区域,提高了量子效率;减小雪崩区域的面积,有助于减小暗电流和暗激发,同时对于晶片质量和缺陷的容忍度提高,防止了大面积雪崩倍增高场区在缺陷位置的提前击穿。
IPC分类: