一种紫外雪崩光电二极管探测器及其探测方法
摘要:
本发明公开了一种紫外雪崩光电二极管探测器,所述探测器的每个器件单元从上至下依次包括CE电极、SiO2层、P‑well或N‑well、衬底和背面电极;其中,所述P‑well或N‑well的上部中心设置有点状雪崩二极管,所述点状雪崩二极管与所述CE电极电连通;所述SiO2层的外围周向设置有接地GND。本申请采用宽禁带半导体材料来制作,雪崩区与光子收集区域分开,雪崩倍增结区较小,能制作出比较低雪崩电压的器件,雪崩区域电场均匀性可控性好;同时在雪崩倍增高场区域比较小的同时保证大面积的光探测区域,提高了量子效率;减小雪崩区域的面积,有助于减小暗电流和暗激发,同时对于晶片质量和缺陷的容忍度提高,防止了大面积雪崩倍增高场区在缺陷位置的提前击穿。
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