具有微分调制相位检测的干涉测定传感器
摘要:
提供一种传感器,其具有:感测元件(8),由此被测对象引起两个波之间的相对相移;相位调制器(5),将调制添加到相对相移;至少两个检测器(10‑1,10‑2),其中第一检测器(10‑1)响应于相对相移没有包含如由被测对象所引起的相对相移而检测干扰信号,并且其中第二检测器(10‑2)响应于相对相移包括如由被测对象所引起的相对相移而检测干扰信号;以及还包括信号处理单元(11),其适合分析两个所检测干扰信号,并且从其中得出被测对象值。
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