具有集成式光束分离器的传感器装置

    公开(公告)号:CN109477860A

    公开(公告)日:2019-03-15

    申请号:CN201680087868.7

    申请日:2016-07-22

    Abstract: 一种光学干涉测量传感器装置,包括集成式光束分离器(8),其具有在其中布置有光学端口(PT1-PT5)的第一面(22)和第二面(23)。在光束分离器(8)上,光束分割接头(J1,J2)以及光电子侧端口(PT1-PT3)和传感侧端口(PT5)布置成沿着第一面(22)的方向相互移位。该移位使由杂散光引起的不合期望的干涉效应减小。另外,四分之一波长延迟器(QWR)设在光束分离器(8)的凹口(24)中,其中软粘合剂层邻近于四分之一波长延迟器(QWR)以便减小应力。

    干涉测定传感器
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106062506A

    公开(公告)日:2016-10-26

    申请号:CN201580009647.3

    申请日:2015-02-19

    CPC classification number: G01D5/266 G01D5/35309

    Abstract: 提供一种干涉测定传感器,其具有:一个或多个波生成器(20,20'),其生成至少第一集合和第二集合,第一集合由均以第一波长为中心的两个波组成,第二集合由均以不同的第二波长为中心的两个波组成;以及感测元件(22),由此被测对象分别引起第一集合的波之间的第一相对相移以及第二集合的波之间的第二相对相移;至少一个检测器(26,26'),其测量第一集合的波之间的第一干扰信号以及第二集合的波之间的第二干扰信号;以及还包含信号处理单元(31),其适合从第一和第二干扰信号在2π范围内分别明确确定表示第一和第二相对相移的主值的两个量,并且从其组合来得出被测对象值。

    干涉测定传感器
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105992934B

    公开(公告)日:2020-09-22

    申请号:CN201580009630.8

    申请日:2015-02-19

    Abstract: 提供一种干涉测定传感器和相关方法,具有:感测元件,由此,被测对象在两个波之间引起相对相移;至少一个检测器,其测量两个波之间的干扰信号,并且还包含:相移检测单元,具有干扰信号作为输入并且确定代表相对相移的主值的第一测量;以及对比度检测单元,具有干扰信号作为输入用于确定代表两个波之间的互相关的第二测量(A,12),以及还包括用于将第一和第二测量转换为被测对象值(x)的处理单元。

    干涉测定传感器
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106062506B

    公开(公告)日:2021-06-01

    申请号:CN201580009647.3

    申请日:2015-02-19

    Abstract: 提供一种干涉测定传感器,其具有:一个或多个波生成器(20,20'),其生成至少第一集合和第二集合,第一集合由均以第一波长为中心的两个波组成,第二集合由均以不同的第二波长为中心的两个波组成;以及感测元件(22),由此被测对象分别引起第一集合的波之间的第一相对相移以及第二集合的波之间的第二相对相移;至少一个检测器(26,26'),其测量第一集合的波之间的第一干扰信号以及第二集合的波之间的第二干扰信号;以及还包含信号处理单元(31),其适合从第一和第二干扰信号在2π范围内分别明确确定表示第一和第二相对相移的主值的两个量,并且从其组合来得出被测对象值。

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