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发明公开
CN106872068A 一种光学薄膜损伤过程中表面温度的实时测量装置 有权

  • 专利标题： 一种光学薄膜损伤过程中表面温度的实时测量装置
  • 专利标题（英）： Surface temperature real-time measurement device in optical film damage process
  • 申请号： CN201611221679.2
    申请日： 2016-12-19
  • 公开(公告)号： CN106872068A
    公开(公告)日： 2017-06-20
  • 发明人: 凌秀兰 , 颜兵 , 刘晓凤 , 田二明 , 王高
  • 申请人： 中北大学
  • 申请人地址： 山西省太原市学院路3号
  • 专利权人： 中北大学
  • 当前专利权人： 中北大学
  • 当前专利权人地址： 山西省太原市学院路3号
  • 主分类号： G01K11/00
  • IPC分类号： G01K11/00
一种光学薄膜损伤过程中表面温度的实时测量装置
摘要：
本发明提供一种光学薄膜损伤过程中表面温度的实时测量装置，测量装置包含激光系统，一个位于由计算机控制的移动平台上的待测样品，CCD在线损伤判断装置以及测量热反射信号的两个Si雪崩光电二极管探测器和一个示波器；使用两束不同激光，一束是纳秒脉冲主激光，辐照光学薄膜诱导光学薄膜损伤，另一激光为探测激光，与主激光成一定角度射到样品表面，通过实时检测探测激光在光学薄膜表面的热反射信号来测量光学薄膜在主激光诱导的损伤过程中温度的实时变化。可以实时测量纳秒脉冲激光诱导光学薄膜损伤过程中表面的温度，为纳秒脉冲激光诱导光学薄膜损伤机理的确定提供实验依据。
摘要（英）：

The invention provides a surface temperature real-time measurement device in the optical film damage process. The measurement device includes a laser system, a sample to be tested on a mobile platform controlled by a computer, a CCD online damage determination device, and two Si avalanche photodiode detectors and one oscilloscope for measuring thermoreflectance signals. By means of two different lasers, one is a nanosecond pulse main laser irradiating the optical film to induce the damage of the optical film, the other one is a detection laser irradiating the sample surface at a certain angle with the main laser, and the thermoreflectance signals of the detection laser on the surface of the optical film in real time are detected to measure the real-time change of the temperature in the damage process of the optical film induced by the main laser. The system can measure the surface temperature in the nanosecond pulse laser induced optical film damage process and provides an experimental basis for the determination of the nanosecond pulse laser induced optical film damage mechanism.

公开/授权文献
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