Invention Publication
- Patent Title: 一种二维类超结LDMOS器件及其制备方法
- Patent Title (English): Two-dimensional super-junction like LDMOS device and manufacturing method thereof
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Application No.: CN201710019345.5Application Date: 2017-01-11
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Publication No.: CN106887466APublication Date: 2017-06-23
- Inventor: 袁晴雯 , 成建兵 , 周骏
- Applicant: 南京邮电大学
- Applicant Address: 江苏省南京市鼓楼区新模范马路66号
- Assignee: 南京邮电大学
- Current Assignee: 南京邮电大学
- Current Assignee Address: 江苏省南京市鼓楼区新模范马路66号
- Agency: 南京经纬专利商标代理有限公司
- Agent 黄欣
- Main IPC: H01L29/78
- IPC: H01L29/78 ; H01L29/06 ; H01L29/423 ; H01L21/336

Abstract:
本发明公开了一种二维类超结LDMOS器件及其制备方法,该器件一方面采用槽型栅代替常规平面栅,同时将漏极重掺杂区延伸至与漂移区同等深度,使得漂移区超结中P柱与N柱分别接低电位与高电位,PN结在反向电场下更易耗尽;另一方面还将变掺杂思想引入新结构,将漂移区中的P柱区进行阶梯掺杂,掺杂浓度由源极至漏极逐渐降低。本发明的新型阶梯掺杂P柱区的二维类超结LDMOS结构可以消除衬底辅助耗尽效应,平衡漂移区电荷,提高器件击穿电压的同时保持了较好的导通特性;并且,工艺简单,易于制造,可进一步降低生产成本。
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