用于感测至少一个特性的传感器元件、传感器装置和方法
摘要:
本发明涉及用于感测测量气体室中的气体的至少一个特性的一种传感器元件、一种传感器装置以及一种方法。传感器元件包括至少一个调节和感测腔、至少一个测量单元、至少一个第一泵单元和至少一个第二泵单元,其中,调节和感测腔具有至少一个调节区域和至少一个感测区域,测量单元具有至少一个测量电极和至少一个基准电极,第一泵单元设置为用于完全或者部分地从调节区域中移除第一气体成分或将第一气体成分输送给调节区域,第二泵单元具有至少一个布置在感测区域中的泵电极并设置为用于从感测区域中移除至少一个第二气体成分,在调节区域与第一泵单元之间布置有至少一个膜片,膜片设置为用于将第一气体成分以无电压的方式运输到第一泵单元。
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