公开(公告)号：CN106660781B

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201580023728.9

申请日：2015-04-27

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： F·沙茨 ,  F·霍伊克 ,  K·德塞尔 ,  S·平特 ,  D·潘特尔 ,  F·罗尔夫林

IPC分类号： B81B7/00 ,  G02B7/182 ,  G02B26/08

CPC分类号： G02B26/0833 ,  B81B7/0067 ,  B81B2201/042 ,  G02B7/1821 ,  G02B26/101 ,  G02B27/0006

摘要： 本发明涉及一种用于微镜芯片(12a，12b)的装配体(10)，该装配体部分围绕内空腔(18)，其中，所述装配体(10，40)在两个彼此背离地指向的侧(10a，10b)上包括至少各一个部分外壁(20，22)，其中，所述装配体(10，40)具有至少一个第一外部开口(24a)和第二外部开口(24b)，使得穿过所述第一部分外壁(20)入射的光束(26)通过第一微镜芯片(12a)能偏转到第二微镜芯片(12b)上，并且通过第二微镜芯片(12b)能偏转穿过所述第二部分外壁(22)，在该第一外部开口上能安装第一微镜芯片(12a)，在该第二外部开口上能安装第一微镜芯片(12b)。本发明同样涉及一种镜像装置。本发明还涉及一种用于镜像装置的制造方法。

公开(公告)号：CN108282730A

公开(公告)日：2018-07-13

申请号：CN201810010150.9

申请日：2018-01-05

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： A·曼苏尔 ,  D·潘特尔 ,  F·普尔科 ,  K·德塞尔 ,  T·布克 ,  T·诺尔特曼

IPC分类号： H04R19/04 ,  H04R31/00

摘要： 本发明建立一种微机械声换能器组件和一种相应的制造方法。微机械声换能器组件设有衬底(S)，该衬底具有正面(V)和背面(R)和带有空腔边缘区域(KR)的空腔(K)；在所述正面(V)上弹性悬挂的至少一个压电的振动梁(Z1-Z6)，该振动梁在所述空腔(K)上延伸；和偏转限界装置(E1-E3)，所述偏转限界装置设置在所述振动梁(Z1-Z6)中的每个振动梁的端部边缘区域(ST1-ST6)上并且如此构型，使得所述偏转限界装置使相应的所述端部边缘区域(ST1-ST6)与所述空腔边缘区域(KR)或者另一振动梁(Z1-Z6)的对置的端部边缘区域(ST1-ST6)处于相互作用中，以便将相应的所述振动梁(Z1-Z6)的偏转限制在极限偏转内。

公开(公告)号：CN106896150A

公开(公告)日：2017-06-27

申请号：CN201611273027.3

申请日：2016-11-30

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： D·潘特尔 ,  A·黑费林 ,  D·孔茨

IPC分类号： G01N27/407

CPC分类号： G01N27/4072 ,  G01N27/417

摘要： 本发明涉及用于感测测量气体室中的气体的至少一个特性的一种传感器元件、一种传感器装置以及一种方法。传感器元件包括至少一个调节和感测腔、至少一个测量单元、至少一个第一泵单元和至少一个第二泵单元，其中，调节和感测腔具有至少一个调节区域和至少一个感测区域，测量单元具有至少一个测量电极和至少一个基准电极，第一泵单元设置为用于完全或者部分地从调节区域中移除第一气体成分或将第一气体成分输送给调节区域，第二泵单元具有至少一个布置在感测区域中的泵电极并设置为用于从感测区域中移除至少一个第二气体成分，在调节区域与第一泵单元之间布置有至少一个膜片，膜片设置为用于将第一气体成分以无电压的方式运输到第一泵单元。

公开(公告)号：CN114080697A

公开(公告)日：2022-02-22

申请号：CN202080049174.0

申请日：2020-06-23

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： T·沙里 ,  J·托马斯科 ,  D·蒙泰罗迪尼斯雷斯 ,  D·潘特尔 ,  F·沙茨 ,  M·梅夫斯

IPC分类号： H01L41/187 ,  H01L41/08 ,  H01L41/316

摘要： 本发明涉及一种半导体结构元件(200)，所述半导体结构元件包括至少一个介电层(230)以及至少一个第一电极(202)和第二电极(201)。附加地，在所述介电层(230)中存在至少两种彼此不同的缺陷类型(212，215，217)。所述至少两种彼此不同的缺陷类型(212，215，217)根据在所述第一电极(202)与所述第二电极(201)之间施加的运行电压和当前的运行温度沿着分别具有平均有效间距a0(210)的局部缺陷状态(235)向着所述两个电极(202，210)中的一个电极运动。在此，对于所述平均有效间距a0(210)适用的是，所述平均有效间距大于3.2nm。

公开(公告)号：CN106660781A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201580023728.9

申请日：2015-04-27

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： F·沙茨 ,  F·霍伊克 ,  K·德塞尔 ,  S·平特 ,  D·潘特尔 ,  F·罗尔夫林

IPC分类号： B81B7/00 ,  G02B7/182 ,  G02B26/08

CPC分类号： G02B26/0833 ,  B81B7/0067 ,  B81B2201/042 ,  G02B7/1821 ,  G02B26/101 ,  G02B27/0006

摘要： 本发明涉及一种用于微镜芯片(12a，12b)的装配体(10)，该装配体部分围绕内空腔(18)，其中，所述装配体(10，40)在两个彼此背离地指向的侧(10a，10b)上包括至少各一个部分外壁(20，22)，其中，所述装配体(10，40)具有至少一个第一外部开口(24a)和第二外部开口(24b)，使得穿过所述第一部分外壁(20)入射的光束(26)通过第一微镜芯片(12a)能偏转到第二微镜芯片(12b)上，并且通过第二微镜芯片(12b)能偏转穿过所述第二部分外壁(22)，在该第一外部开口上能安装第一微镜芯片(12a)，在该第二外部开口上能安装第一微镜芯片(12b)。本发明同样涉及一种镜像装置。本发明还涉及一种用于镜像装置的制造方法。

公开(公告)号：CN114555514A

公开(公告)日：2022-05-27

申请号：CN202080074588.9

申请日：2020-10-12

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： V·贝克尔 ,  F·拉尔默 ,  D·潘特尔

IPC分类号： B81C1/00 ,  B81B3/00

摘要： 在载体(100)的一个或多个硅表面上产生亲水表面或表面区域的方法中，通过加热过氧化氢水溶液(11)在反应器(10)中产生过氧化氢的蒸气相(15)。载体(100)以所述一个或多个要处理的硅表面暴露于蒸气相(15)，由此实现所述硅表面的亲水化。

公开(公告)号：CN114127967A

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN202080049347.9

申请日：2020-06-23

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： F·沙茨 ,  T·沙里 ,  D·蒙泰罗迪尼斯雷斯 ,  D·潘特尔 ,  J·托马斯科 ,  M·梅夫斯

IPC分类号： H01L41/08 ,  H01L41/187 ,  H01L41/316

摘要： 公开一种半导体结构元件(200)，所述半导体结构元件具有至少一个介电层(230)和至少两个电极(201，202)，其中，在所述介电层中至少存在第一缺陷类型和与所述第一缺陷类型不同的第二缺陷类型。所述不同的缺陷类型(212，215，217)根据在所述电极之间所施加的运行电压和当前的主运行温度在特征时间τ1和τ2内在所述两个电极中的一个电极上积累，并且在所述电极上产生所配属的最大势垒高度变化δΦ1和δΦ2，其中，适用的是τ1

公开(公告)号：CN108282730B

公开(公告)日：2021-04-06

申请号：CN201810010150.9

申请日：2018-01-05

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： A·曼苏尔 ,  D·潘特尔 ,  F·普尔科 ,  K·德塞尔 ,  T·布克 ,  T·诺尔特曼

IPC分类号： H04R19/04 ,  H04R31/00

摘要： 本发明建立一种微机械声换能器组件和一种相应的制造方法。微机械声换能器组件设有衬底(S)，该衬底具有正面(V)和背面(R)和带有空腔边缘区域(KR)的空腔(K)；在所述正面(V)上弹性悬挂的至少一个压电的振动梁(Z1‑Z6)，该振动梁在所述空腔(K)上延伸；和偏转限界装置(E1‑E3)，所述偏转限界装置设置在所述振动梁(Z1‑Z6)中的每个振动梁的端部边缘区域(ST1‑ST6)上并且如此构型，使得所述偏转限界装置使相应的所述端部边缘区域(ST1‑ST6)与所述空腔边缘区域(KR)或者另一振动梁(Z1‑Z6)的对置的端部边缘区域(ST1‑ST6)处于相互作用中，以便将相应的所述振动梁(Z1‑Z6)的偏转限制在极限偏转内。