Invention Publication
- Patent Title: 一种在绝缘衬底上制备连续单层石墨烯的方法
- Patent Title (English): Method for preparing continuous single-layer graphene on insulation substrate
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Application No.: CN201510952655.3Application Date: 2015-12-17
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Publication No.: CN106904600APublication Date: 2017-06-30
- Inventor: 狄增峰 , 汪子文 , 戴家赟 , 王刚 , 郑晓虎 , 薛忠营 , 张苗 , 王曦
- Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- Applicant Address: 上海市长宁区长宁路865号
- Assignee: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- Current Assignee: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- Current Assignee Address: 上海市长宁区长宁路865号
- Agency: 上海光华专利事务所
- Agent 罗泳文
- Main IPC: C01B32/186
- IPC: C01B32/186

Abstract:
本发明提供一种在绝缘衬底上制备连续单层石墨烯的方法,包括:1)提供一绝缘衬底,于所述绝缘衬底上沉积锗薄膜;2)以所述锗薄膜为催化剂,在高温下生长石墨烯,同时,锗薄膜在高温下不断蒸发,并最终被全部去除,获得结合于绝缘衬底上的连续石墨烯。本发明通过绝缘衬底上锗薄膜催化生长石墨烯,并在生长的同时将锗薄膜蒸发去除,获得绝缘体上单层连续石墨烯,克服了传统工艺采用转移方法制备绝缘体上石墨烯所带来的如污染、皱褶等影响,提高了绝缘体上石墨烯材料的质量及性能。采用本发明的方法可以获得大面积单层连续石墨烯。本发明步骤简单,效果显著,在石墨烯制备领域具有广泛的应用前景。
Public/Granted literature
- CN106904600B 一种在绝缘衬底上制备连续单层石墨烯的方法 Public/Granted day:2019-03-01
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