发明授权
- 专利标题: 半导体元件及其形成方法
-
申请号: CN201510974251.4申请日: 2015-12-23
-
公开(公告)号: CN106910737B公开(公告)日: 2021-01-15
- 发明人: 李信宏 , 陈冠全 , 李年中 , 李文芳 , 王智充
- 申请人: 联华电子股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹市新竹科学工业园区
- 专利权人: 联华电子股份有限公司
- 当前专利权人: 联华电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹市新竹科学工业园区
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 陈小雯
- 主分类号: H01L27/088
- IPC分类号: H01L27/088 ; H01L21/8234
摘要:
本发明公开一种半导体元件及其形成方法。其中,该半导体元件包含基底、第一栅极以及第二栅极。该第一栅极是设置在该基底之上,并且包含第一间隙壁以及依序堆叠于该基底上的栅极绝缘层、多晶硅层、第一金属硅化物层以及帽盖层,该第一间隙壁环绕该栅极绝缘层、该多晶硅层、该第一金属硅化物层以及该帽盖层。该第二栅极同样是设置在该基底之上,并且包含第二间隙壁以及依序堆叠于该基底上的高介电常数介电层、功函数金属层以及导电层。该第二间隙壁环绕该高介电常数介电层、该功函数金属层以及该导电层。
公开/授权文献
- CN106910737A 半导体元件及其形成方法 公开/授权日:2017-06-30
IPC分类: