Invention Publication
- Patent Title: 一种三氯氢硅合成方法及装置
- Patent Title (English): Synthetic method and apparatus for trichlorosilane
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Application No.: CN201510997567.5Application Date: 2015-12-28
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Publication No.: CN106915747APublication Date: 2017-07-04
- Inventor: 吴昌勇 , 银波 , 黄彬 , 高建强 , 武珠峰
- Applicant: 新特能源股份有限公司
- Applicant Address: 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市乌鲁木齐国家级高新技术产业开发区(新市区)甘泉堡高新技术产业园
- Assignee: 新特能源股份有限公司
- Current Assignee: 新特能源股份有限公司
- Current Assignee Address: 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市乌鲁木齐国家级高新技术产业开发区(新市区)甘泉堡高新技术产业园
- Agency: 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- Agent 罗建民; 邓伯英
- Main IPC: C01B33/107
- IPC: C01B33/107

Abstract:
本发明公开了一种三氯氢硅合成方法及装置,该方法将粒径范围为200~400目的硅粉与氯化氢反应合成三氯氢硅,本发明中的三氯氢硅合成方法使用粒径范围为200~400目的硅粉制备三氯氢硅,该硅粉为宽粒径范围的硅粉,生产成本低,生产的难度系数降低,由于宽粒径的硅粉的流化气速较低,制备三氯氢硅时可降低通入的相应的氯化氢的通入的物质的量,降低尾气回收的难度与成本,相对于现有技术中生产三氯氢硅使用的硅粉而言,本发明中的粒径范围为200~400目的硅粉的比表面积大,从而可以提高气固接触面积,反应的强度提高,进而提高本发明中的三氯氢硅合成方法和三氯氢硅合成装置的产能。
Public/Granted literature
- CN106915747B 一种三氯氢硅合成方法及装置 Public/Granted day:2019-06-28
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