一种三氯氢硅合成方法及装置
Abstract:
本发明公开了一种三氯氢硅合成方法及装置,该方法将粒径范围为200~400目的硅粉与氯化氢反应合成三氯氢硅,本发明中的三氯氢硅合成方法使用粒径范围为200~400目的硅粉制备三氯氢硅,该硅粉为宽粒径范围的硅粉,生产成本低,生产的难度系数降低,由于宽粒径的硅粉的流化气速较低,制备三氯氢硅时可降低通入的相应的氯化氢的通入的物质的量,降低尾气回收的难度与成本,相对于现有技术中生产三氯氢硅使用的硅粉而言,本发明中的粒径范围为200~400目的硅粉的比表面积大,从而可以提高气固接触面积,反应的强度提高,进而提高本发明中的三氯氢硅合成方法和三氯氢硅合成装置的产能。
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