Invention Grant
- Patent Title: 具有漂移沟道的紫外雪崩光电二极管探测器及其探测方法
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Application No.: CN201710128147.2Application Date: 2017-03-06
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Publication No.: CN106960852BPublication Date: 2021-01-29
- Inventor: 袁俊 , 倪炜江 , 张敬伟 , 李明山 , 牛喜平 , 徐妙玲 , 胡羽中
- Applicant: 北京世纪金光半导体有限公司
- Applicant Address: 北京市大兴区经济技术开发区通惠干渠路17号院
- Assignee: 北京世纪金光半导体有限公司
- Current Assignee: 芯合半导体(合肥)有限公司
- Current Assignee Address: 231200 安徽省合肥市肥西县经济开发区拓展区创新大道与繁华大道交叉口工投立恒广场二期A12栋第9层
- Agency: 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司
- Agent 张宇锋
- Main IPC: H01L27/144
- IPC: H01L27/144 ; H01L31/107

Abstract:
本发明公开了具有漂移沟道的紫外雪崩光电二极管探测器,该探测器的每个器件单元从上至下依次包括CE电极、SiO2层、N‑CHANNEL、P‑well或N‑well、衬底和背面电极;CE电极嵌入在SiO2层的中心;P‑well或N‑well由对称设置在器件单元左右两侧的两部分构成;N‑CHANNEL设在SiO2层下方,两部分P‑well或N‑well的上方;N‑CHANNEL的上部中心设置有点状雪崩二极管,点状雪崩二极管与CE电极电连通;SiO2层上由内到外依次设置有内漂移环、外漂移环和接地GND,接地GND与P‑well或N‑well电连通。本申请的探测器在雪崩倍增高场区域比较小的同时保证大面积的光探测区域,提高了量子效率;减小雪崩区域的面积,有助于减小暗电流和暗激发,同时对于晶片质量和缺陷的容忍度提高,防止了大面积雪崩倍增高场区在缺陷位置的提前击穿。
Public/Granted literature
- CN106960852A 具有漂移沟道的紫外雪崩光电二极管探测器及其探测方法 Public/Granted day:2017-07-18
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