本发明公开了一种灭弧室用铜钨电触头材料的表面镀层处理方法，包括制备铜钨合金触头材料作为基底材料；机械抛光、清洗烘干；放入真空腔体中在氩气气氛下利用铬靶、镍靶或钛靶在基体上沉积铬层、镍层或钛层；利用铜靶、钨靶在沉积有铬层、镍层或钛层膜层的基底上继续共沉积铜‑钨镀层，得到具有一定膜厚的铜钨‑钨镀层；在惰性气体与氢气的混合气氛保护中退火，随炉冷却，取出样品，即得铜钨电触头材料表面镀层。这种两相纳米级均匀分布的结构可极大改善烧蚀均匀性和降低烧蚀坑深度，提高使用寿命；同时所具有的纳米晶钨骨架可以提高耐电弧烧蚀能力。本方法设备简单操作方便，效果明显，具有良好的工业化应用前景。