发明公开

一种柔性探针
摘要:
本发明提供的一种柔性探针,探针包括支撑臂、柔性接触探针及柔性连接点,柔性可固定连接或可拆卸,柔性接触探针为二维或三维结构;柔性接触探针为烟斗状或汤匙状且其空间体积为1μm3~0.1m3。本发明提供的探针带有可固定、可拆卸的柔性接触点,便于更换受损的探针;采用二维或三维结构的烟斗状或汤匙状结构,替换现有技术中的一维点接触结构的探针,能避免在芯片测试过程中损伤芯片表面金属层及损毁电器件;该探针与芯片电极接触面大,能在大电流器件测试过程中使电流分布更均匀,避免一维点状探针尖端带电打火烧毁器件,显著提高了电器件芯片级测试过程的安全性。
0/0