发明公开
CN106996995A 一种柔性探针
审中-实审
- 专利标题: 一种柔性探针
- 专利标题(英): Flexible probe
-
申请号: CN201610045067.6申请日: 2016-01-22
-
公开(公告)号: CN106996995A公开(公告)日: 2017-08-01
- 发明人: 杨霏 , 郑柳 , 王方方 , 李玲 , 夏经华 , 田亮 , 王嘉铭 , 桑玲 , 李嘉琳 , 钮应喜
- 申请人: 国网智能电网研究院 , 国家电网公司
- 申请人地址: 北京市昌平区小汤山镇大东流村路270号(未来科技城);
- 专利权人: 国网智能电网研究院,国家电网公司
- 当前专利权人: 全球能源互联网研究院,国家电网有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市昌平区小汤山镇大东流村路270号(未来科技城);
- 代理机构: 北京安博达知识产权代理有限公司
- 代理商 徐国文
- 主分类号: G01R1/067
- IPC分类号: G01R1/067 ; G01R31/28
摘要:
本发明提供的一种柔性探针,探针包括支撑臂、柔性接触探针及柔性连接点,柔性可固定连接或可拆卸,柔性接触探针为二维或三维结构;柔性接触探针为烟斗状或汤匙状且其空间体积为1μm3~0.1m3。本发明提供的探针带有可固定、可拆卸的柔性接触点,便于更换受损的探针;采用二维或三维结构的烟斗状或汤匙状结构,替换现有技术中的一维点接触结构的探针,能避免在芯片测试过程中损伤芯片表面金属层及损毁电器件;该探针与芯片电极接触面大,能在大电流器件测试过程中使电流分布更均匀,避免一维点状探针尖端带电打火烧毁器件,显著提高了电器件芯片级测试过程的安全性。