- 专利标题: 位置测量装置及用于确定测量对象的位置的方法
- 专利标题(英): Position measuring device and method for determining positions of a measurement object
-
申请号: CN201580064811.0申请日: 2015-11-24
-
公开(公告)号: CN107003107A公开(公告)日: 2017-08-01
- 发明人: P.沃格特 , F.巴特
- 申请人: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- 申请人地址: 德国上科亨
- 专利权人: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- 当前专利权人: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- 当前专利权人地址: 德国上科亨
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 邱军
- 优先权: 102014224221.5 20141127 DE
- 国际申请: PCT/EP2015/077450 2015.11.24
- 国际公布: WO2016/083346 DE 2016.06.02
- 进入国家日期: 2017-05-27
- 主分类号: G01B7/00
- IPC分类号: G01B7/00 ; G01B7/06
摘要:
在位置测量装置(5)和用以确定待测对象(3)的位置的方法中,提供至少一个电容式位置测量传感器(7),以提供关于待测对象(3)的位置测量信号(PM),并且提供至少一个电容式基准测量传感器(14),以提供基准测量信号(RM)。测量传感器(7、14)连接到计算单元(8),该计算单元被设计为从位置测量信号(PM)和基准测量信号(RM)计算位置信号(P),以便确定位置。因为干扰信号(S)形式的干扰影响基本上相同程度地包含于位置测量信号(PM)和基准测量信号(RM)中,可以在计算中确定干扰信号(S)并消除干扰信号(S)。
公开/授权文献
- CN107003107B 位置测量装置及用于确定测量对象的位置的方法 公开/授权日:2020-04-28