一种绝缘衬底图形化直接生长石墨烯的工艺方法
摘要:
一种绝缘衬底图形化直接生长石墨烯的工艺方法,属于石墨烯材料制备领域。绝缘衬底直接生长石墨烯和在此基础上进行的石墨烯图形化生长。通过在绝缘衬底上首先镀上一层铜作为催化剂,然后在铜的催化下石墨烯会生长在镀铜的表面,再保持高温退火使铜挥发,铜挥发后,石墨烯会落在绝缘衬底表面,达到绝缘衬底直接生长石墨烯的目的。之后,在直接生长的基础上,通过光刻工艺使镀的铜具有一定的图形,与之相对应的,在铜上生长出的石墨烯也具有了相同的图形,达到绝缘衬底图形化直接生长石墨烯的目的。本发明通过直接生长的工艺,避免了石墨烯转移工艺中石墨烯的损坏,成本较低,适合大规模批量生产石墨烯。
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