发明公开
CN107012443A 一种绝缘衬底图形化直接生长石墨烯的工艺方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种绝缘衬底图形化直接生长石墨烯的工艺方法
- 专利标题(英): Process for direct imaging growth of graphene on insulation substrate
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申请号: CN201710246595.2申请日: 2017-04-16
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公开(公告)号: CN107012443A公开(公告)日: 2017-08-04
- 发明人: 孙捷 , 徐晨 , 董毅博 , 解意洋 , 荀孟 , 潘冠中 , 王秋华
- 申请人: 北京工业大学
- 申请人地址: 北京市朝阳区平乐园100号
- 专利权人: 北京工业大学
- 当前专利权人: 北京工业大学
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区平乐园100号
- 代理机构: 北京思海天达知识产权代理有限公司
- 代理商 沈波
- 主分类号: C23C16/26
- IPC分类号: C23C16/26 ; C23C16/02 ; C23C16/56
摘要:
一种绝缘衬底图形化直接生长石墨烯的工艺方法,属于石墨烯材料制备领域。绝缘衬底直接生长石墨烯和在此基础上进行的石墨烯图形化生长。通过在绝缘衬底上首先镀上一层铜作为催化剂,然后在铜的催化下石墨烯会生长在镀铜的表面,再保持高温退火使铜挥发,铜挥发后,石墨烯会落在绝缘衬底表面,达到绝缘衬底直接生长石墨烯的目的。之后,在直接生长的基础上,通过光刻工艺使镀的铜具有一定的图形,与之相对应的,在铜上生长出的石墨烯也具有了相同的图形,达到绝缘衬底图形化直接生长石墨烯的目的。本发明通过直接生长的工艺,避免了石墨烯转移工艺中石墨烯的损坏,成本较低,适合大规模批量生产石墨烯。
公开/授权文献
- CN107012443B 一种绝缘衬底图形化直接生长石墨烯的工艺方法 公开/授权日:2019-07-12
IPC分类: