一种光学主镜电磁支承装置及其方法
摘要:
本发明公开了一种光学主镜电磁支承装置及其方法,由电磁支承部分、电磁导向部分及状态监测部分组成;电磁支承部分主要由支承体、电磁铁、永磁体、上缸体、下缸体等组成,用于提供光学主镜所需支承力;电磁导向部分由电磁铁、永磁体、连接螺栓、永磁体安装座、连接螺栓等组成,用于引导支承体直线运动,并为支承装置提供径向刚度;状态监测部分由承重传感器、激光测微仪以及传感器固定件等组成,用于监测和反馈电磁支承装置状态参数,用以实时控制和调节支承装置。该光学主镜电磁支承装置用于在大口径光学主镜加工过程中,为主镜提供多点相等的精准可调支承力和支承高度,可完全消除传统支承装置内部存在的机械阻力,具有精度高、可调节、零泄漏等优点。
公开/授权文献
0/0