薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板和显示器
摘要:
本发明提供一种薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板和显示器,该薄膜晶体管的制作方法,包括:提供基板;在所述基板上通过一次构图工艺形成有源层和覆盖所述有源层的遮光层,所述遮光层由光刻胶材料形成;以及形成源漏电极层和覆盖所述源漏电极层的钝化层。本发明提供的薄膜晶体管及其制作方法,在有源层上制作遮光层,以减少有源层受到光照而产生的漏电流,提升显示品质,且遮光层为光刻胶材料,在制备有源层的过程中,采用光刻胶层为掩模,制作完成有源层之后,保留的光刻胶层即用作覆盖有源层的遮光层,遮光层与有源层通过一次构图工艺制作出来,无需增加构图工序,能够简化工艺流程,提高生产效率。
公开/授权文献
0/0