使用配重的溅射系统及方法

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摘要：

一种用于将材料从靶材沉积到衬底上的系统，包括处理室；溅射靶材，该溅射靶材具有长度L并具有设置在其前表面上的溅射材料；磁体，该磁体可操作以接近该靶材的后表面越过该长度L往复地进行扫描；以及配重，该配重可操作以与磁体相同的速度但相反的方向往复地进行扫描。

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IPC分类:

C	化学；冶金
C23	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）
C23C14/00	通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆