- 专利标题: 一种用于电容式微机械加速度计电容检测的结构
- 专利标题(英): Structure for capacitor detection of capacitive micro-mechanical accelerometer
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申请号: CN201710517283.0申请日: 2017-06-29
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公开(公告)号: CN107132372A公开(公告)日: 2017-09-05
- 发明人: 王志 , 周骏 , 王龙峰 , 山永启 , 雷龙海
- 申请人: 四川知微传感技术有限公司
- 申请人地址: 四川省成都市高新区(西区)天辰路88号4栋三单元4层
- 专利权人: 四川知微传感技术有限公司
- 当前专利权人: 四川知微传感技术有限公司
- 当前专利权人地址: 四川省成都市高新区(西区)天辰路88号4栋三单元4层
- 代理机构: 成都行之专利代理事务所
- 代理商 郭受刚
- 主分类号: G01P1/00
- IPC分类号: G01P1/00 ; G01P15/125 ; G01R27/26
摘要:
本发明公开了一种用于电容式微机械加速度计电容检测的结构,第一质量块和第二质量块均与第三质量块连接,第三质量块对第一质量块和第二质量块进行电气隔离,检测电容C1的动极板和检测电容C3的动极板与第一质量块连接,检测电容C2的动极板和检测电容C4的动极板与第二质量块连接,检测电容C1的定极板和检测电容C2的定极板与外部引脚A通过引线连接,检测电容C3的定极板和检测电容C4的定极板与外部引脚B通过引线连接,本结构不需要外接匹配电容就可以实现微机械加速度计电容差分检测,无需外接匹配电容,匹配性更好,可以避免由于匹配电容大小的不匹配以及匹配电容的变化引起的微机械加速度计性能恶化的技术效果。
公开/授权文献
- CN107132372B 一种用于电容式微机械加速度计电容检测的结构 公开/授权日:2023-03-17