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公开(公告)号：CN106921383B
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN201710251828.8
申请日：2017-04-18
申请人： 四川知微传感技术有限公司
IPC分类号： H03K19/0175
摘要： 本发明公开了一种低功耗低噪声MEMS加速度计接口电路，所述接口电路包括：电荷转换器电路、PI控制器电路、差分驱动电路，MEMS加速度计的检测正极SP和检测负极SN分别输入相位相反的脉冲电压，MEMS加速度计的驱动正极和驱动负极分别接差分驱动电路的两个输出端，MEMS加速度计中间电极MASS接电荷转换器电路的输入端；电荷转换器电路的输出端接PI控制器电路的输入端；PI控制器电路的输入为单端输入，输出为差分输出，PC控制器电路的输出接差分驱动电路的输入端，实现了全部控制系统的单片集成，无需外部分立器件，结构更简单，功耗、噪声更低的技术效果。
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公开(公告)号：CN106970244B
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN201710252303.6
申请日：2017-04-18
申请人： 四川知微传感技术有限公司
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/08 , G01P1/00
摘要： 本发明公开了一种多量程的MEMS闭环加速度计，所述MEMS闭环加速度计包括：基片、敏感器件层，基片与敏感器件层之间有绝缘层；敏感器件层包括：固定框架、锚点、敏感质量块、多个折叠梁、多个固定检测梳齿、多个可动检测梳齿、多个固定平衡梳齿、多个可动平衡梳齿；多个固定平衡梳齿与多个可动平衡梳齿分别组成4组平衡梳齿对，分别构成：第一静电力矩器、第二静电力矩器、第三静电力矩器，可实现小中高多量程的应用，线性度好，灵敏度高，芯片尺寸小，易加工，制造成本低的技术效果。
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公开(公告)号：CN107132372B
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN201710517283.0
申请日：2017-06-29
申请人： 四川知微传感技术有限公司
IPC分类号： G01P1/00 , G01P15/125 , G01R27/26
摘要： 本发明公开了一种用于电容式微机械加速度计电容检测的结构，第一质量块和第二质量块均与第三质量块连接，第三质量块对第一质量块和第二质量块进行电气隔离，检测电容C1的动极板和检测电容C3的动极板与第一质量块连接，检测电容C2的动极板和检测电容C4的动极板与第二质量块连接，检测电容C1的定极板和检测电容C2的定极板与外部引脚A通过引线连接，检测电容C3的定极板和检测电容C4的定极板与外部引脚B通过引线连接，本结构不需要外接匹配电容就可以实现微机械加速度计电容差分检测，无需外接匹配电容，匹配性更好，可以避免由于匹配电容大小的不匹配以及匹配电容的变化引起的微机械加速度计性能恶化的技术效果。
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公开(公告)号：CN111551761B
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202010259467.3
申请日：2020-04-03
申请人： 四川知微传感技术有限公司
IPC分类号： G01P15/125
摘要： 本发明公开了一种低噪声MEMS加速度计，本发明的加速度计由结构层和衬底层组成，结构层包括质量块、梁、梳齿组和铆点；其中铆点均固定在衬底上，梳齿组及与之相连的铆点分布在质量块的内部；所述梁一端与质量块连接且梁的另一端与铆点连接，梁及与之相连的铆点分布在质量块的四周；所述梳齿组包括检测梳齿且检测梳齿为变面积梳齿。本发明通过采用变面积梳齿结构，降低阻尼从而减小布朗噪声。
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公开(公告)号：CN109215719B
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN201811398968.9
申请日：2018-11-22
申请人： 四川知微传感技术有限公司
IPC分类号： G11C17/18
摘要： 本发明公开了一种用于OTP编程的多功能电压切换电路，所述切换电路包括：高电压选择电路、开关控制电路、第一PMOS开关、第二PMOS开关和逻辑判断电路；所述切换电路的引脚包括：VPP、VDD、PRGM、VPRG和SLG；将OTP编程引脚编程/非编程电压的切换功能集成到芯片内部实现，因此终测时无需芯片外部电压切换电路，简化了设计；同时，OTP的编程引脚在非编程时，可以复用为一个逻辑控制引脚，节省芯片引脚资源。
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公开(公告)号：CN111551761A
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN202010259467.3
申请日：2020-04-03
申请人： 四川知微传感技术有限公司
IPC分类号： G01P15/125
摘要： 本发明公开了一种低噪声MEMS加速度计，本发明的加速度计由结构层和衬底层组成，结构层包括质量块、梁、梳齿组和铆点；其中铆点均固定在衬底上，梳齿组及与之相连的铆点分布在质量块的内部；所述梁一端与质量块连接且梁的另一端与铆点连接，梁及与之相连的铆点分布在质量块的四周；所述梳齿组包括检测梳齿且检测梳齿为变面积梳齿。本发明通过采用变面积梳齿结构，降低阻尼从而减小布朗噪声。
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公开(公告)号：CN107144275A
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：CN201710580683.6
申请日：2017-07-17
申请人： 四川知微传感技术有限公司
IPC分类号： G01C21/16
CPC分类号： G01C21/16
摘要： 本发明公开了一种微机械惯性传感器抗温漂结构，应用于微机械惯性传感器中，所述抗温漂结构包括：三个紧固直梁和一个环形弹性连接结构，其中，三个紧固直梁的一端分别与微机械惯性传感器中的锚点连接，三个紧固直梁的另一端均与环形弹性连接结构连接，微机械惯性传感器中的双端固支梁一端与环形弹性连接结构连接，双端固支梁另一端与微机械惯性传感器中的敏感质量块连接，实现了能够从源头上抑制温度变化所导致的梁轴向应力改变，设计简单，成本较低的技术效果。
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公开(公告)号：CN109946481B
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN201910261787.X
申请日：2019-04-02
申请人： 四川知微传感技术有限公司
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/08 , B81B7/02 , B81B7/00
摘要： 本发明公开了一种基于刚度补偿的MEMS闭环加速度计，包括：关于加速度计中心对称的上半部分和下半部分，上半部分和下半部分均包括：基片，锚点固定在基片上，基片上设有绝缘层，绝缘层上设有敏感器件层，敏感器件层包括：敏感质量块、支撑梁、力反馈梳齿单元、检测梳齿单元、刚度补偿单元；上半部分和下半部分的敏感质量块上均设有第一镂空区域和第二镂空区域；第一镂空区域内安装有：支撑梁锚点、支撑梁、检测梳齿单元锚点、检测梳齿单元；第二镂空区域内安装有：支撑梁锚点、支撑梁、力反馈梳齿单元、力反馈梳齿单元锚点、刚度补偿单元、刚度补偿单元锚点；通过对加速度计刚度补偿结构的设计可以补偿工艺加工造成的机械刚度偏大的问题。
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公开(公告)号：CN110095632B
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN201910458116.2
申请日：2019-05-29
申请人： 四川知微传感技术有限公司
IPC分类号： G01P15/08 , G01P15/125 , G01P15/13
摘要： 本发明公开了一种基于零位校正的MEMS加速度计，包括：基片，基片上设有氧化层，若干个锚点通过氧化层固定在基片上，氧化层上设有敏感器件层，敏感器件层包括：差动电容检测结构、加速度计闭环反馈电极结构、若干个悬臂梁、零位校正结构、敏感质量块、2个止挡结构、2个固定结构；通过对加速度计结构的设计可以校正结构由于加工误差、安装误差以及环境温度等变化带来的零位输出变化不一的问题，消除由于零位变化对器件稳定性、温度特性等性能造成的影响。
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