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公开(公告)号：CN107192851B
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN201710581758.2
申请日：2017-07-17
申请人： 四川知微传感技术有限公司
IPC分类号： G01P15/125
摘要： 本发明公开了一种电荷调制器加速度计电容检测系统，所述系统包括：敏感结构电容模块、载波发生模块、基础电容补偿模块、输入共模补偿模块、开关电容积分器模块、一位的数模转换模块、加法器模块、后端数字处理与补偿模块、数字处理与补偿参数调整模块、电路串行输出模块；解决了现有的加速度计电容检测电路存在容易受到环境和自身因素影响，且功耗较高，不便于补偿的技术问题，实现了系统设计合理，不易受到环境和自身的影响，检测结果准确，且功耗较低的技术效果。
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公开(公告)号：CN111538356B
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202010259468.8
申请日：2020-04-03
申请人： 四川知微传感技术有限公司
IPC分类号： G05D13/62 , G01P15/18 , G01P15/125
摘要： 本发明公开了一种分时复用三轴加速度计及其控制方法，本发明包括X、Y、Z三个轴向的敏感结构、电容/数字转换前端电路、ΔΣ调制器后级电路、高压驱动反馈电路和比例积分控制电路；其中，X、Y、Z三个轴向的敏感结构的上下极板均接入2相时钟信号。本发明分时复用三轴数字加速度计结构简单，三个轴向的传感器仅使用一个电路芯片加上相应的时序控制就可完成三轴加速度计的功能。本发明采用直接电容到数字量的转换结构不用电容到电压、电压到数字量的转换过程，节省了电路功耗、降低了电路复杂度及电路易受环境影响的因素如温度及工艺偏差等方面的影响。
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公开(公告)号：CN110095632A
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201910458116.2
申请日：2019-05-29
申请人： 四川知微传感技术有限公司
IPC分类号： G01P15/08 , G01P15/125 , G01P15/13
摘要： 本发明公开了一种基于零位校正的MEMS加速度计，包括：基片，基片上设有氧化层，若干个锚点通过氧化层固定在基片上，氧化层上设有敏感器件层，敏感器件层包括：差动电容检测结构、加速度计闭环反馈电极结构、若干个悬臂梁、零位校正结构、敏感质量块、2个止挡结构、2个固定结构；通过对加速度计结构的设计可以校正结构由于加工误差、安装误差以及环境温度等变化带来的零位输出变化不一的问题，消除由于零位变化对器件稳定性、温度特性等性能造成的影响。
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公开(公告)号：CN109946482A
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201910262367.3
申请日：2019-04-02
申请人： 四川知微传感技术有限公司
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/08
摘要： 本发明公开了一种高信噪比的三明治式微加速度计，所述微加速度计包括：从上到下的：上电极结构层、上键合接触区、中间电极结构层、下键合接触区、下电极结构层；上电极结构层设有与中间电极结构层键合的上键合接触区；下电极结构层设有与中间电极结构层键合的下键合接触区；上键合接触区与下键合接触区构成键合接触层；上电极结构层、中间电极结构层、下电极结构层在上、下键合接触区经熔融键合后构成自密封结构；其中中间电极结构层包括可动质量块；在很大程度上降低器件上、下电极结构层与中间电极结构层的寄生电容值，在极板间隙相同情况下，这将明显的提升三明治式微加速度计的信噪比特性。
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公开(公告)号：CN109946481A
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201910261787.X
申请日：2019-04-02
申请人： 四川知微传感技术有限公司
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/08 , B81B7/02 , B81B7/00
摘要： 本发明公开了一种基于刚度补偿的MEMS闭环加速度计，包括：关于加速度计中心对称的上半部分和下半部分，上半部分和下半部分均包括：基片，锚点固定在基片上，基片上设有绝缘层，绝缘层上设有敏感器件层，敏感器件层包括：敏感质量块、支撑梁、力反馈梳齿单元、检测梳齿单元、刚度补偿单元；上半部分和下半部分的敏感质量块上均设有第一镂空区域和第二镂空区域；第一镂空区域内安装有：支撑梁锚点、支撑梁、检测梳齿单元锚点、检测梳齿单元；第二镂空区域内安装有：支撑梁锚点、支撑梁、力反馈梳齿单元、力反馈梳齿单元锚点、刚度补偿单元、刚度补偿单元锚点；通过对加速度计刚度补偿结构的设计可以补偿工艺加工造成的机械刚度偏大的问题。
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公开(公告)号：CN108075778A
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：CN201711225630.9
申请日：2017-11-29
申请人： 四川知微传感技术有限公司
IPC分类号： H03M1/38
摘要： 本发明公开了一种Pipeline SAR-ADC电路结构，包括前级采样比较电路、后级采样比较电路、数字逻辑控制模块及两个寄存器模块，其中，前级采样比较电路包括第一比较器、第一开关、第二开关、m条前级正端比较支路及m条前级负端比较支路。后级采样比较电路包括第二比较器、第三开关、第四开关、n条后级正端比较支路及n条后级负端比较支路。第一比较器的输出端连接数字逻辑控制模块的前m位输入接口，第二比较器的输出端连接数字逻辑控制模块的后n位输入接口。一个寄存器模块的输入接口与数字逻辑控制模块的前m位数字接口连接，另一个寄存器模块的输入接口与数字逻辑控制模块的后n位数字接口连接。本发明使用元器件少，便于实现，能提升输出速率和分辨率。
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公开(公告)号：CN107132372A
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201710517283.0
申请日：2017-06-29
申请人： 四川知微传感技术有限公司
IPC分类号： G01P1/00 , G01P15/125 , G01R27/26
CPC分类号： G01P1/00 , G01P15/125 , G01R27/2605
摘要： 本发明公开了一种用于电容式微机械加速度计电容检测的结构，第一质量块和第二质量块均与第三质量块连接，第三质量块对第一质量块和第二质量块进行电气隔离，检测电容C1的动极板和检测电容C3的动极板与第一质量块连接，检测电容C2的动极板和检测电容C4的动极板与第二质量块连接，检测电容C1的定极板和检测电容C2的定极板与外部引脚A通过引线连接，检测电容C3的定极板和检测电容C4的定极板与外部引脚B通过引线连接，本结构不需要外接匹配电容就可以实现微机械加速度计电容差分检测，无需外接匹配电容，匹配性更好，可以避免由于匹配电容大小的不匹配以及匹配电容的变化引起的微机械加速度计性能恶化的技术效果。
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公开(公告)号：CN106921383B
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN201710251828.8
申请日：2017-04-18
申请人： 四川知微传感技术有限公司
IPC分类号： H03K19/0175
摘要： 本发明公开了一种低功耗低噪声MEMS加速度计接口电路，所述接口电路包括：电荷转换器电路、PI控制器电路、差分驱动电路，MEMS加速度计的检测正极SP和检测负极SN分别输入相位相反的脉冲电压，MEMS加速度计的驱动正极和驱动负极分别接差分驱动电路的两个输出端，MEMS加速度计中间电极MASS接电荷转换器电路的输入端；电荷转换器电路的输出端接PI控制器电路的输入端；PI控制器电路的输入为单端输入，输出为差分输出，PC控制器电路的输出接差分驱动电路的输入端，实现了全部控制系统的单片集成，无需外部分立器件，结构更简单，功耗、噪声更低的技术效果。
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公开(公告)号：CN107132372B
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN201710517283.0
申请日：2017-06-29
申请人： 四川知微传感技术有限公司
IPC分类号： G01P1/00 , G01P15/125 , G01R27/26
摘要： 本发明公开了一种用于电容式微机械加速度计电容检测的结构，第一质量块和第二质量块均与第三质量块连接，第三质量块对第一质量块和第二质量块进行电气隔离，检测电容C1的动极板和检测电容C3的动极板与第一质量块连接，检测电容C2的动极板和检测电容C4的动极板与第二质量块连接，检测电容C1的定极板和检测电容C2的定极板与外部引脚A通过引线连接，检测电容C3的定极板和检测电容C4的定极板与外部引脚B通过引线连接，本结构不需要外接匹配电容就可以实现微机械加速度计电容差分检测，无需外接匹配电容，匹配性更好，可以避免由于匹配电容大小的不匹配以及匹配电容的变化引起的微机械加速度计性能恶化的技术效果。
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