基于阻挡层调制结构的电流孔径功率晶体管及其制作方法
摘要:
本发明公开了一种基于阻挡层调制结构的电流孔径功率晶体管,主要解决现有同类器击穿电压低与导通电阻大的问题,其包括:衬底(1)、漂移层(2)、电流孔径层(3)、左右两个对称的多级阶梯结构的电流阻挡层(4)、沟道层(6)、势垒层(7)和钝化层(12),势垒层(7)上的两侧淀积有两个源极(9),两个源极(9)下方通过离子注入形成两个注入区(8),两个源极(9)之间的势垒层(7)上淀积有栅极(10),衬底(1)下面淀积有漏极(11),钝化层(12)完全包裹除在漏极底部以外所有区域,两个对称电流阻挡层(4)之间形成孔径(5)。本发明击穿电压高、工艺简单、导通电阻小、成品率高,可用于电力电子系统。
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