- 专利标题: 基于阻挡层调制结构的电流孔径功率晶体管及其制作方法
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申请号: CN201710197643.3申请日: 2017-03-29
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公开(公告)号: CN107146811B公开(公告)日: 2019-12-10
- 发明人: 毛维 , 石朋毫 , 王海永 , 郝跃 , 艾治州 , 马晓华 , 张弘
- 申请人: 西安电子科技大学
- 申请人地址: 陕西省西安市太白南路2号
- 专利权人: 西安电子科技大学
- 当前专利权人: 西安电子科技大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市太白南路2号
- 代理机构: 陕西电子工业专利中心
- 代理商 王品华
- 主分类号: H01L29/06
- IPC分类号: H01L29/06 ; H01L29/20 ; H01L29/778 ; H01L21/335
摘要:
本发明公开了一种基于阻挡层调制结构的电流孔径功率晶体管,主要解决现有同类器击穿电压低与导通电阻大的问题,其包括:衬底(1)、漂移层(2)、电流孔径层(3)、左右两个对称的多级阶梯结构的电流阻挡层(4)、沟道层(6)、势垒层(7)和钝化层(12),势垒层(7)上的两侧淀积有两个源极(9),两个源极(9)下方通过离子注入形成两个注入区(8),两个源极(9)之间的势垒层(7)上淀积有栅极(10),衬底(1)下面淀积有漏极(11),钝化层(12)完全包裹除在漏极底部以外所有区域,两个对称电流阻挡层(4)之间形成孔径(5)。本发明击穿电压高、工艺简单、导通电阻小、成品率高,可用于电力电子系统。
公开/授权文献
- CN107146811A 基于阻挡层调制结构的电流孔径功率晶体管及其制作方法 公开/授权日:2017-09-08
IPC分类: