- 专利标题: 飞点类型的微型投影仪的投影MEMS设备及相关制造方法
- 专利标题(英): PROJECTIVE MEMS DEVICE FOR A PICOPROJECTOR OF THE FLYING SPOT TYPE AND RELATED MANUFACTURING METHOD
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申请号: CN201610876946.3申请日: 2016-09-30
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公开(公告)号: CN107203085A公开(公告)日: 2017-09-26
- 发明人: G·基亚雷蒂 , F·L·格里利 , R·卡尔米纳蒂 , B·穆拉里 , L·萨奇
- 申请人: 意法半导体股份有限公司
- 申请人地址: 意大利阿格拉布里安扎
- 专利权人: 意法半导体股份有限公司
- 当前专利权人: 意法半导体股份有限公司
- 当前专利权人地址: 意大利阿格拉布里安扎
- 代理机构: 北京市金杜律师事务所
- 代理商 王茂华; 潘聪
- 优先权: 102016000028779 20160318 IT
- 主分类号: G03B21/14
- IPC分类号: G03B21/14 ; G03B21/20 ; G02B26/08
摘要:
一种投影MEMS设备,包括:固定支撑结构(17),其至少部分地由半导体材料制成;和若干个投影模块(M1,M2,M3)。每个投影模块包括光源(2),该光源固定于固定支撑结构(17);和微机电致动器(19,36,37),该微机电致动器包括移动结构(19)并且改变移动结构相对于固定支撑结构(17)的位置。每个投影模块还包括初始光纤(20),该初始光纤根据移动结构(19)的位置机械地耦合至移动结构(19)并且光学地耦合至光源(2)。
公开/授权文献
- CN107203085B 投影MEMS设备、系统、装置及其制造方法 公开/授权日:2020-06-30