飞点类型的微型投影仪的投影MEMS设备及相关制造方法
摘要:
一种投影MEMS设备,包括:固定支撑结构(17),其至少部分地由半导体材料制成;和若干个投影模块(M1,M2,M3)。每个投影模块包括光源(2),该光源固定于固定支撑结构(17);和微机电致动器(19,36,37),该微机电致动器包括移动结构(19)并且改变移动结构相对于固定支撑结构(17)的位置。每个投影模块还包括初始光纤(20),该初始光纤根据移动结构(19)的位置机械地耦合至移动结构(19)并且光学地耦合至光源(2)。
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