发明公开
CN107247300A 激光制备熔石英连续相位板的方法
无效 - 驳回
- 专利标题: 激光制备熔石英连续相位板的方法
- 专利标题(英): Fused quartz continuous phase plate laser preparation method
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申请号: CN201710629419.7申请日: 2017-07-28
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公开(公告)号: CN107247300A公开(公告)日: 2017-10-13
- 发明人: 白阳 , 廖威 , 张传超 , 蒋晓龙 , 陈静 , 张丽娟 , 蒋一岚 , 栾晓雨 , 王海军 , 周海 , 袁晓东
- 申请人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- 申请人地址: 四川省绵阳市绵山路64号
- 专利权人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- 当前专利权人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- 当前专利权人地址: 四川省绵阳市绵山路64号
- 代理机构: 成都虹桥专利事务所
- 代理商 李凌峰
- 主分类号: G02B5/30
- IPC分类号: G02B5/30 ; G02B27/09
摘要:
本发明涉及光学领域。本发明提供了一种激光制备熔石英连续相位板的方法,用于获得更小的去除函数尺寸来满足更精细化的焦斑均匀性控制要求,其技术方案可概括为:首先对激光束进行聚焦,然后设置激光器输出功率参数及扫描振镜扫描速度,并设定扫描振镜扫描路径参数,再将熔石英元件置于激光束的焦点处,通过激光辐照熔石英元件表面,改变熔石英元件扫描区域的假想温度分布,使之与设定的连续相位板空间结构相对应,得到激光辐照元件,最后通过兆声波辅助氢氟酸刻蚀工艺,对其进行刻蚀,使之呈现出假想温度调控区域轮廓,得到熔石英连续相位板。本发明的有益效果是:提高加工效率,适用于熔石英连续相位板的加工。