激光制备熔石英连续相位板的方法
摘要:
本发明涉及光学领域。本发明提供了一种激光制备熔石英连续相位板的方法,用于获得更小的去除函数尺寸来满足更精细化的焦斑均匀性控制要求,其技术方案可概括为:首先对激光束进行聚焦,然后设置激光器输出功率参数及扫描振镜扫描速度,并设定扫描振镜扫描路径参数,再将熔石英元件置于激光束的焦点处,通过激光辐照熔石英元件表面,改变熔石英元件扫描区域的假想温度分布,使之与设定的连续相位板空间结构相对应,得到激光辐照元件,最后通过兆声波辅助氢氟酸刻蚀工艺,对其进行刻蚀,使之呈现出假想温度调控区域轮廓,得到熔石英连续相位板。本发明的有益效果是:提高加工效率,适用于熔石英连续相位板的加工。
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