一种可见光、激光与中红外波段全介质薄膜分色元件及设计方法
摘要:
本发明属于光学薄膜技术领域,具体涉及一种可见光波段(0.6~0.9μm)和激光波段(1.06μm)反射、中红外波段(3.0~5.0μm)透射的全介质薄膜分色元件及设计方法。本发明提出的分色元件及设计方法,按照可见光与激光反射、红外透射的方法进行分光,与传统的介质-金属-介质膜系结构不同,在硅材料基底上采用全介质薄膜材料设计,可见光波段与激光的平均分光效率达到98%以上,中红外波段的平均分光效率达到97%以上。
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