一种核壳结构CuO/Al纳米含能薄膜材料的制备方法
摘要:
本发明公开了一种核壳结构CuO/Al纳米含能薄膜材料的制备方法。所述方法首先利用真空物理气相沉积技术在基底上制备Cr过渡层及Cu薄膜,再在室温下将基底置于含有NaOH和(NH4)2S2O8的混合液中得到具有一维纳米结构的Cu(OH)2薄膜材料,然后经热处理得到具有一维纳米结构的CuO薄膜材料,最后利用物理气相沉积技术,将纳米Al包覆至CuO一维纳米结构上得到核壳结构CuO/Al纳米含能薄膜材料。本发明制备过程中温度限制在200℃以下,相较现有的采用的≥450℃高温处理过程,能耗显著降低,并且制得核壳结构CuO/Al纳米含能薄膜材料能与后端CMOS工艺相兼容,制备过程重复性好。
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