发明公开
CN107368100A 调整悬臂探针卡针迹的方法
无效 - 撤回
- 专利标题: 调整悬臂探针卡针迹的方法
- 专利标题(英): Method for adjusting cantilever probe card needle trace
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申请号: CN201710493534.6申请日: 2017-06-26
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公开(公告)号: CN107368100A公开(公告)日: 2017-11-21
- 发明人: 王玉龙 , 叶建明 , 凌俭波 , 熊忠应 , 王锦
- 申请人: 上海华岭集成电路技术股份有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区郭守敬路351号2号楼1楼
- 专利权人: 上海华岭集成电路技术股份有限公司
- 当前专利权人: 上海华岭集成电路技术股份有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区郭守敬路351号2号楼1楼
- 代理机构: 上海申汇专利代理有限公司
- 代理商 吴宝根; 徐颖
- 主分类号: G05D3/12
- IPC分类号: G05D3/12 ; G01R3/00
摘要:
本发明涉及一种调整悬臂探针卡针迹的方法,探针尾部通过铜线与探针卡板焊点焊接在一起,焊点和测试机的通道资源相连,针尖与晶圆芯片上的管脚接触进行测试,绝缘网格固定装置与探针卡板固定,针臂上有一凸出矩形,将矩形切入网格固定装置中网格中,以此来固定探针;当需要调整针迹时,打开网格固定装置上面的盖板,根据探针台给出的实际扎出的针迹来判断调整方向,借助放大镜,记住原来的网格具体位置,然后将网格固定装置中网格往需要调整的方向调整,再将针臂上矩形切入到调整后的网格里,重新盖上盖板,完成调整。网格固定装置来替换悬臂探针卡的环氧树脂部分,来达到精确调整针迹的目的,降低了操作的难度性,节省了时间和成本,提高了效率。