调整悬臂探针卡针迹的方法
摘要:
本发明涉及一种调整悬臂探针卡针迹的方法,探针尾部通过铜线与探针卡板焊点焊接在一起,焊点和测试机的通道资源相连,针尖与晶圆芯片上的管脚接触进行测试,绝缘网格固定装置与探针卡板固定,针臂上有一凸出矩形,将矩形切入网格固定装置中网格中,以此来固定探针;当需要调整针迹时,打开网格固定装置上面的盖板,根据探针台给出的实际扎出的针迹来判断调整方向,借助放大镜,记住原来的网格具体位置,然后将网格固定装置中网格往需要调整的方向调整,再将针臂上矩形切入到调整后的网格里,重新盖上盖板,完成调整。网格固定装置来替换悬臂探针卡的环氧树脂部分,来达到精确调整针迹的目的,降低了操作的难度性,节省了时间和成本,提高了效率。
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