发明公开
CN107425004A 垂直存储器件
审中-实审
- 专利标题: 垂直存储器件
- 专利标题(英): VERTICAL MEMORY DEVICE
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申请号: CN201710223451.5申请日: 2017-04-07
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公开(公告)号: CN107425004A公开(公告)日: 2017-12-01
- 发明人: 尹永培 , 申重植 , 金光浩 , 朴玄睦
- 申请人: 三星电子株式会社
- 申请人地址: 韩国京畿道
- 专利权人: 三星电子株式会社
- 当前专利权人: 三星电子株式会社
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 弋桂芬
- 优先权: 10-2016-0043335 2016.04.08 KR
- 主分类号: H01L27/11551
- IPC分类号: H01L27/11551 ; H01L27/11521 ; H01L27/11578 ; H01L27/11568
摘要:
本发明提供一种垂直存储器件,该垂直存储器件包括在基板上的沟道、栅线和切割图案。沟道在基本上垂直于基板的上表面的第一方向上延伸。栅线在第一方向上彼此间隔开。每条栅线围绕沟道并在基本上平行于基板的上表面的第二方向上延伸。切割图案包括在第二方向上延伸并切割栅线的第一切割部分以及交叉第一切割部分并与第一切割部分合并的第二切割部分。
公开/授权文献
- CN107425004B 垂直存储器件 公开/授权日:2023-09-05