发明授权
- 专利标题: 三维测量装置以及三维测量方法
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申请号: CN201580078559.9申请日: 2015-11-19
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公开(公告)号: CN107429992B公开(公告)日: 2019-09-03
- 发明人: 大山刚 , 坂井田宪彦 , 二村伊久雄
- 申请人: CKD株式会社
- 申请人地址: 日本爱知县
- 专利权人: CKD株式会社
- 当前专利权人: CKD株式会社
- 当前专利权人地址: 日本爱知县
- 代理机构: 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
- 代理商 刘军
- 优先权: 2015-096469 2015.05.11 JP
- 国际申请: PCT/JP2015/082486 2015.11.19
- 国际公布: WO2016/181578 JA 2016.11.17
- 进入国家日期: 2017-09-29
- 主分类号: G01B11/25
- IPC分类号: G01B11/25
摘要:
提供三维测量装置和三维测量方法,能够在利用相移法进行高度测量时缩短测量时间。基板检查装置(1)包括:从斜上方向印刷基板(2)的表面照射预定的光图案的照明装置(4)、拍摄印刷基板(2)上的照射了光图案的部分的相机(5)、以及实施基板检查装置(1)内的各种控制和图像处理、运算处理的控制装置(6)。控制装置(6)通过利用根据预定的拍摄条件确定的光图案的增益和偏移的关系以及根据图像数据上的被测量坐标的亮度值确定的该被测量坐标涉及的光图案的增益或偏移的值,并基于在二组相位变化的光图案之下拍摄的二组图像数据通过相移法执行被测量坐标的高度测量。
公开/授权文献
- CN107429992A 三维测量装置以及三维测量方法 公开/授权日:2017-12-01