三维测量装置以及三维测量方法
摘要:
提供三维测量装置和三维测量方法,能够在利用相移法进行高度测量时缩短测量时间。基板检查装置(1)包括:从斜上方向印刷基板(2)的表面照射预定的光图案的照明装置(4)、拍摄印刷基板(2)上的照射了光图案的部分的相机(5)、以及实施基板检查装置(1)内的各种控制和图像处理、运算处理的控制装置(6)。控制装置(6)通过利用根据预定的拍摄条件确定的光图案的增益和偏移的关系以及根据图像数据上的被测量坐标的亮度值确定的该被测量坐标涉及的光图案的增益或偏移的值,并基于在二组相位变化的光图案之下拍摄的二组图像数据通过相移法执行被测量坐标的高度测量。
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