发明公开
CN107438902A 具有切割栅极应力源的FinFET
无效 - 撤回
- 专利标题: 具有切割栅极应力源的FinFET
- 专利标题(英): FINFET WITH CUT GATE STRESSOR
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申请号: CN201680019955.9申请日: 2016-04-06
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公开(公告)号: CN107438902A公开(公告)日: 2017-12-05
- 发明人: H·杨 , Y·刘
- 申请人: 高通股份有限公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 高通股份有限公司
- 当前专利权人: 高通股份有限公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 陈小刚; 陈炜
- 优先权: 14/680,711 20150407 US
- 国际申请: PCT/US2016/026195 2016.04.06
- 国际公布: WO2016/164447 EN 2016.10.13
- 进入国家日期: 2017-09-29
- 主分类号: H01L29/78
- IPC分类号: H01L29/78 ; H01L21/336
摘要:
一种半导体鳍包括沟道区。由金属形成的栅极应力源部件横贯该鳍延伸并且包括在沟道区中骑跨该鳍的栅极面。栅极应力源部件具有包括与该鳍间隔开切割距离的部分切口的配置。该配置在该鳍中贯穿栅极面促生横向应力,具有与切割距离相对应的量级。由金属形成的横向应力源部件在沟道区外部的区域除骑跨该鳍并在沟道区外部的该区域处促生该鳍中的附加横向应力。与切割距离相对应的量级与附加横向应力相组合地在沟道区中引发纵向压应变。
IPC分类: