一种基于光学显微的三维表面形貌测量方法和系统
摘要:
本发明公开了一种基于光学显微的三维表面形貌测量方法和系统,涉及微纳物体测量领域,本发明包括:将被测表面置于光学显微镜的观察范围内,选取合适的物镜和照明系统,利用物镜驱动系统驱动物镜与被测表面作纵向相对运动,逐层扫描的过程中用图像采集模块采集序列图像,同时记录采集每一张图像时的深度位置信息;利用聚焦评估算法计算序列图像中每个像素点的清晰度值;根据像素点在图像序列中聚焦程度变化情况,利用深度计算算法计算每个像素点的深度信息,从而获取像素点的三维坐标。本发明适用于微纳物体测量领域,能够测量出表面波纹度和粗糙度并重建出三维形貌数据,从而获取材料表面的纹理信息,能够用于测量复杂的表面。
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