发明公开
- 专利标题: 一种基于光学显微的三维表面形貌测量方法和系统
- 专利标题(英): Three-dimensional surface topography measurement method and system based on optical microscopy
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申请号: CN201710552775.3申请日: 2017-07-07
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公开(公告)号: CN107514984A公开(公告)日: 2017-12-26
- 发明人: 崔海华 , 程筱胜 , 卞新光 , 戴宁
- 申请人: 南京航空航天大学
- 申请人地址: 江苏省南京市秦淮区御道街29号
- 专利权人: 南京航空航天大学
- 当前专利权人: 南京航空航天大学
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市秦淮区御道街29号
- 代理机构: 江苏圣典律师事务所
- 代理商 贺翔
- 主分类号: G01B11/30
- IPC分类号: G01B11/30
摘要:
本发明公开了一种基于光学显微的三维表面形貌测量方法和系统,涉及微纳物体测量领域,本发明包括:将被测表面置于光学显微镜的观察范围内,选取合适的物镜和照明系统,利用物镜驱动系统驱动物镜与被测表面作纵向相对运动,逐层扫描的过程中用图像采集模块采集序列图像,同时记录采集每一张图像时的深度位置信息;利用聚焦评估算法计算序列图像中每个像素点的清晰度值;根据像素点在图像序列中聚焦程度变化情况,利用深度计算算法计算每个像素点的深度信息,从而获取像素点的三维坐标。本发明适用于微纳物体测量领域,能够测量出表面波纹度和粗糙度并重建出三维形貌数据,从而获取材料表面的纹理信息,能够用于测量复杂的表面。